[实用新型]一种硅圆晶精加工抛光设备

权利要求书

1.一种硅圆晶精加工抛光设备，包括抛光台(1)，其特征在于：所述抛光台(1)的边缘处焊接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的上端通过螺栓固定有液压气缸(3)，所述液压气缸(3)的输出轴固定连接有抛光电机(4)，所述抛光电机(4)的输出轴固定连接有偏心抛光轮(5)，所述抛光台(1)的上表面焊接有套筒(6)，所述套筒(6)内部的下通过螺栓固定有风泵(8)，所述套筒(6)的上表面固定有吸盘(9)，所述风泵(8)的输出端与吸盘(9)连接，所述套筒(6)内部的上表面开设有排屑槽(11)，所述套筒(6)内部的上表面粘合有防滑橡胶条(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅圆晶精加工抛光设备，其特征在于：所述套筒(6)的下方安装有集灰罩(13)，且所述集灰罩(13)的上端安装在套筒(6)的内部并通过磁铁固定。

3.根据权利要求2所述的一种硅圆晶精加工抛光设备，其特征在于：所述集灰罩(13)的表面粘合有滤网(14)，所述集灰罩(13)的下端通过螺栓固定有风机(15)，且所述风机(15)位于滤网(14)的正下方。

4.根据权利要求2所述的一种硅圆晶精加工抛光设备，其特征在于：所述集灰罩(13)为双管状结构，所述集灰罩(13)的内管套接在风泵(8)的外部，所述集灰罩(13)的外管位于排屑槽(11)的正下方。

5.根据权利要求1所述的一种硅圆晶精加工抛光设备，其特征在于：所述排屑槽(11)为扇形结构，所述防滑橡胶条(12)为条形结构，且所述排屑槽(11)和防滑橡胶条(12)错位放置。

6.根据权利要求1所述的一种硅圆晶精加工抛光设备，其特征在于：所述吸盘(9)为波纹管状结构，所述吸盘(9)的上端一体成型的裙带处开设有防滑槽(10)。

7.根据权利要求1所述的一种硅圆晶精加工抛光设备，其特征在于：所述偏心抛光轮(5)为方形板状结构，且所述偏心抛光轮(5)的四个拐角处均设置有倒角。