[实用新型]一种时栅直线位移传感器的误差测量装置

说明书

本实用新型公开了一种时栅直线位移传感器的误差测量装置，包括气浮直线导轨、工程控制机、激光干涉仪、伺服直线电机、电机驱动控制模块和传感器电气驱动系统，气浮直线导轨固定在实验平台上且设置有滑块，伺服直线电机的输出轴与滑块连接，激光干涉仪包括激光器、干涉镜和反射镜，激光器、反射镜、干涉镜的位置关系能实现直线位移测量，工程控制机与电机驱动控制模块、激光器、传感器电气驱动系统电连接，电机驱动控制模块与伺服直线电机电连接；定尺固定在实验平台上、动测头固定在滑块上且与定尺正对平行；定尺的激励线圈、动测头的感应线圈与传感器电气驱动系统电连接。该装置能对误差进行准确测量，降低人为因素影响。

技术领域

本实用新型属于直线位移测量领域，具体涉及一种时栅直线位移传感器的误差测量装置。

背景技术

随着自动化技术的推广与发展，直线位移传感器的误差测量与修正向无人化方向发展。直线位移传感器出厂时由于装配、器件的契合度等，会影响其精度，同时直线位移传感器的性能也会受到周围环境的影响，所以直线位移传感器使用一段时间后也要进行误差修正方可保证其测量精度。

传统的误差测量主要采用手动方式，费时费力，且由于测量方法、人员操作等原因，会引入各种误差，导致测量结果不准确。公告号为CN202501835U的专利公开了一种立式直线位移传感器标定／校准装置，其虽然在位移传感器校准时操作简单、方便，但测量精度不高，误差比较大。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种时栅直线位移传感器的误差测量装置，以对误差进行准确测量，降低人为因素影响，为后续时栅直线位移传感器的误差修正提供基础。

本实用新型所述的时栅直线位移传感器的误差测量装置，包括气浮直线导轨、工程控制机、激光干涉仪、伺服直线电机、电机驱动控制模块和与时栅直线位移传感器配套的传感器电气驱动系统，所述气浮直线导轨固定在实验平台上，气浮直线导轨上设置有滑块，伺服直线电机固定在实验平台上且输出轴与滑块连接，激光干涉仪包括激光器、干涉镜和反射镜，激光器通过激光器支架设置在实验平台旁边，反射镜固定安装在滑块上，干涉镜固定安装在气浮直线导轨上且位于反射镜与激光器之间，工程控制机与电机驱动控制模块电连接，电机驱动控制模块与伺服直线电机电连接，工程控制机发送运动控制指令给电机驱动控制模块，电机驱动控制模块根据该运动控制指令控制伺服直线电机带动滑块沿气浮直线导轨运动到测量点位置，激光器与工程控制机电连接，将测量的直线位移值发送给工程控制机。

时栅直线位移传感器的定尺固定安装在实验平台上且与气浮直线导轨平行，时栅直线位移传感器的动测头固定安装在滑块上且与定尺正对平行；定尺的激励线圈、动测头的感应线圈与传感器电气驱动系统电连接，传感器电气驱动系统与工程控制机电连接，将测量的直线位移值发送给工程控制机，工程控制机建立测量误差函数，并将该测量误差函数存储到传感器电气驱动系统中，作为后续测量中需要修正的误差。

所述电机驱动控制模块包括与工程控制机电连接的控制器和与控制器、伺服直线电机电连接的电机驱动器，所述传感器电气驱动系统与控制器电连接，将测量的直线位移值反馈给控制器，作为滑块的当前位置反馈，形成闭环控制，其可以提高伺服直线电机定位的准确性，进而减小在测量过程中引入的误差。

利用本实用新型可以对时栅直线位移传感器的误差进行准确测量，采用高精度的气浮直线导轨，减小了环境因素对时栅直线位移传感器造成的误差，伺服直线电机采用闭环控制，测量点的定位更加准确，其降低了人为因素影响，为后续时栅直线位移传感器的误差修正提供了基础，进而使得时栅直线位移传感器的测量精度更高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细说明。