[实用新型]一种时栅直线位移传感器的误差测量装置有效
| 申请号： | 201921002610.X | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN209802283U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杨继森;牟智铭;高祥;蒋忠浩;张静;付航 | 申请（专利权）人： | 重庆理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 50123 重庆华科专利事务所 | 代理人： | 唐锡娇 |
| 地址： | 400054 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电机驱动控制模块 传感器电气 驱动系统 激光器 定尺 滑块 气浮直线导轨 伺服直线电机 激光干涉仪 工程控制 实验平台 电连接 动测头 反射镜 干涉镜 直线位移传感器 误差测量装置 直线位移测量 本实用新型 伺服 感应线圈 机电连接 激励线圈 人为因素 准确测量 输出轴 时栅 正对 平行 | ||
1.一种时栅直线位移传感器的误差测量装置，其特征在于：该装置包括气浮直线导轨（1）、工程控制机（2）、激光干涉仪、伺服直线电机（4）、电机驱动控制模块（5）和与时栅直线位移传感器配套的传感器电气驱动系统（3），所述气浮直线导轨（1）固定在实验平台上，气浮直线导轨（1）上设置有滑块（11），伺服直线电机（4）固定在实验平台上且输出轴与滑块（11）连接，激光干涉仪包括激光器（8）、干涉镜（9）和反射镜（10），激光器（8）通过激光器支架设置在实验平台旁边，反射镜（10）固定安装在滑块（11）上，干涉镜（9）固定安装在气浮直线导轨（1）上且位于反射镜与激光器之间，工程控制机（2）与电机驱动控制模块（5）电连接，电机驱动控制模块（5）与伺服直线电机（4）电连接，激光器（8）与工程控制机（2）电连接；
时栅直线位移传感器的定尺（7）固定安装在实验平台上且与气浮直线导轨（1）平行，时栅直线位移传感器的动测头（6）固定安装在滑块（11）上且与定尺（7）正对平行；定尺（7）的激励线圈、动测头（6）的感应线圈与传感器电气驱动系统（3）电连接，传感器电气驱动系统（3）与工程控制机（2）电连接。
2.根据权利要求1所述的时栅直线位移传感器的误差测量装置，其特征在于：所述电机驱动控制模块（5）包括与工程控制机（2）电连接的控制器（51）和与控制器（51）、伺服直线电机（4）电连接的电机驱动器（52），所述传感器电气驱动系统（3）与控制器（51）电连接。
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