[实用新型]抽气管道及具有其的单晶炉

说明书

本申请涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉，其中抽气管道包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀。其中，清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封清洁管路的第一开口，燃烧阀固定安装在清洁管路的管壁上，且邻近清洁口封盖，燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启清洁口封盖之前打开，以使清洁管路的内腔与外部连通。通过提前开启燃烧阀使粉尘状氧化物先与外部少量空气中氧气充分燃烧，有效防止了清理抽气管道时产生的爆燃现象，大大提高了抽气管道清洁工作的安全性。

技术领域

本公开涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉。

背景技术

单晶炉是一种用于单晶硅生长的设备，在炉内，多晶硅料经过拉制变为单晶硅锭。单晶硅是光伏行业的重要原料，近些年来市场需求越来越大，单晶炉的生产时间也成倍增加。在生产单晶硅时，单晶炉内温度较高，炉内的热场坩埚会在高温下产生部分粉尘状氧化物。氧化物数量随着单晶炉生产时间的增加不断增加。其中，大部分氧化物会随着炉内气体通过抽气管道被带走，但还是会有部分氧化物沉积在管道中，尤其是沉积在气体流畅不通的抽气管道的清理口处。当单晶炉停炉清理抽气管道时，打开抽气管道清理口封盖会使得大量空气进入管道并与粉尘状氧化物迅速反应，产生爆炸现象，伤及人身安全。

实用新型内容

有鉴于此，本公开提出了一种抽气管道，可以在打开清洁口封盖进行清理前对抽气管道中沉积的粉尘状氧化物进行燃烧反应，避免了打开抽气管道清理口封盖后大量空气进入管道与粉尘状氧化物迅速反应，产生爆燃现象，伤及人身安全。

根据本公开的一方面，提供了一种抽气管道，包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀；

其中，所述清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封所述清洁管路的第一开口；

所述燃烧阀固定安装在所述清洁管路的管壁上，且邻近所述清洁口封盖；

所述燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启所述清洁口封盖之前打开，以使所述清洁管路的内腔与外部连通。

在一种可能的实现方式中，所述清洁口封盖与所述清洁管路的第一开口之间的连接方式为法兰连接或铰接。

在一种可能的实现方式中，所述燃烧阀与所述清洁管路之间的连接方式为法兰连接、焊接或螺纹连接。

在一种可能的实现方式中，所述燃烧阀包括流量阀和开关阀中的任意一种。

在一种可能的实现方式中，还包括炉膛抽气管路，所述炉膛抽气管路安装在所述清洁管路的管壁上；

其中，所述炉膛抽气管路与所述清洁管路的内腔连通；

所述炉膛抽气管路未与所述清洁管路的管壁相连接的一侧，适用于连通单晶炉的炉膛。

在一种可能的实现方式中，还包括抽气泵管路；

所述抽气泵管路安装在所述清洁管路的第二开口端，并与所述清洁管路的内腔连通；

其中，所述抽气泵管路与所述清洁管路的第二开口之间的连接方式为法兰连接或螺纹连接。

在一种可能的实现方式中，所述清洁管路包括第一管件、第二管件和第三管件；

所述第一管件、所述第二管件和所述第三管件依次连通后，呈直筒状；

其中，所述第一管件未与所述第二管件相连通的管口为所述清洁管路的第一开口；

所述第二管件为三通管件，且

所述第二管件的第一管口与所述第一管件相连通，所述第二管件的第二管口与所述第三管件相连通，所述第三管件的第三管口与所述炉膛抽气管路相连通。