[实用新型]抽气管道及具有其的单晶炉有效
| 申请号： | 201921000004.4 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210341122U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 吴天舒;关树军;陈辉 | 申请（专利权）人： | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人： | 陈佳妹;贾满意 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管道 具有 单晶炉 | ||
1.一种抽气管道，其特征在于，包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀；
其中，所述清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封所述清洁管路的第一开口；
所述燃烧阀固定安装在所述清洁管路的管壁上，且邻近所述清洁口封盖；
所述燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启所述清洁口封盖之前打开，以使所述清洁管路的内腔与外部连通。
2.根据权利要求1所述的抽气管道，其特征在于，所述清洁口封盖与所述清洁管路的第一开口之间的连接方式为法兰连接或铰接。
3.根据权利要求1所述的抽气管道，其特征在于，所述燃烧阀与所述清洁管路之间的连接方式为法兰连接、焊接或螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的抽气管道，其特征在于，所述燃烧阀包括流量阀和开关阀中的任意一种。
5.根据权利要求1至4任一项所述的抽气管道，其特征在于，还包括炉膛抽气管路，所述炉膛抽气管路安装在所述清洁管路的管壁上；
其中，所述炉膛抽气管路与所述清洁管路的内腔连通；
所述炉膛抽气管路未与所述清洁管路的管壁相连接的一侧，适用于连通单晶炉的炉膛。
6.根据权利要求1至4任一项所述的抽气管道，其特征在于，还包括抽气泵管路；
所述抽气泵管路安装在所述清洁管路的第二开口端，并与所述清洁管路的内腔连通；
其中，所述抽气泵管路与所述清洁管路的第二开口之间的连接方式为法兰连接或螺纹连接。
7.根据权利要求5所述的抽气管道，其特征在于，所述清洁管路包括第一管件、第二管件和第三管件；
所述第一管件、所述第二管件和所述第三管件依次连通后，呈直筒状；
其中，所述第一管件未与所述第二管件相连通的管口为所述清洁管路的第一开口；
所述第二管件为三通管件，且
所述第二管件的第一管口与所述第一管件相连通，所述第二管件的第二管口与所述第三管件相连通，所述第三管件的第三管口与所述炉膛抽气管路相连通。
8.根据权利要求7所述的抽气管道，其特征在于，炉膛抽气管路与所述第二管件的第三管口之间的连接方式为法兰连接。
9.根据权利要求1至4任一项所述的抽气管道，其特征在于，所述清洁口封盖形状呈圆盘状。
10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的抽气管道。
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