[实用新型]一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种波导组件，包括：波导本体，用于布置在调配器和模式转换器之间以传导微波；

其特征是，波导本体的外侧壁上开设有冷却液槽，冷却液槽上密封安装有槽盖板以形成冷却液腔，波导组件还包括与所述冷却液腔连通的冷却液进口和冷却液出口，通过在冷却液腔内注入冷却液以对波导本体进行冷却。

2.根据权利要求1所述的波导组件，其特征是，所述波导本体为矩形管，波导本体包括分体拼装在一起的上波导板、下波导板、左波导板和右波导板，其中至少一个波导板上开设有所述冷却液槽。

3.根据权利要求2所述的波导组件，其特征在于：任意拼装的两波导板的拼装重叠位置处设有对应贯通的螺栓安装孔，通过紧固装配在所述螺栓安装孔中的紧固螺栓将各波导板固定装配在一起以形成所述的波导本体。

4.根据权利要求3所述的波导组件，其特征在于：任意拼装在一起的两波导板上的所述螺栓安装孔沿波导本体轴向依次均布有多个。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的波导组件，其特征在于：所述冷却液进口和冷却液出口设置在所述槽盖板上。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的波导组件，其特征在于：所述冷却液槽为U形槽，该U形槽具有均沿波导本体延伸方向并行延伸的两分支槽段。

7.根据权利要求6所述的波导组件，其特征是，所述槽盖板为与所述U形槽形状适配的U形盖板。

8.根据权利要求7所述的波导组件，其特征是，所述U形盖板具有与U形槽的两分支槽段对应的两分支板段，两分支板段具有用于形成U形开口的开口端，所述冷却液进口和冷却液出口对应地设置在两分支板段的开口端。

9.一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波发生器、调配器、模式转换器、形成谐振腔的外腔体及反应室，

其特征是，调配器和模式转换器之间设置有权利要求1-8任意一项中的波导组件。