[实用新型]波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种波导组件，其特征是，包括引风管段、风机和透波挡风板，

所述引风管段，布置在微波发生器和模式转换器之间以传导微波，

所述引风管段侧壁上设置有引风通道，用于将引风管段内腔和外界进行连通，

还包括风机，与引风通道对接，用于在引风通道处向引风管段内腔中送风，或者从引风管段内腔中吸风，以在引风管段内腔中形成冷却气流，

引风管段内固设有透波挡风板，用于阻挡气流流向微波发生器。

2.根据权利要求1所述的波导组件，其特征是，引风通道为呈阵列布置的引风孔，引风孔处设置有用于安装所述风机的风机法兰。

3.根据权利要求1或2所述的波导组件，其特征是，所述风机在引风孔处向引风管段内送风，引风管段上还设置有液冷系统，对引风管段进行冷却。

4.根据权利要求3所述的波导组件，其特征是，引风管段为分体的矩形管结构，包括上波导板、下波导板、左波导板和右波导板，引风通道设置在上波导板上，液冷系统包括开设在左波导板、右波导板和下波导板上的冷却液槽，各冷却液槽上密封安装有槽盖板，各槽盖板上设置有冷却液进口和冷却液出口。

5.根据权利要求4所述的波导组件，其特征是，左波导板上开设的冷却液槽为U型结构，槽盖板为与冷却液槽形状相适配的U型结构盖板，在冷却液槽的U型结构的中部开设有螺栓通过孔，用于穿装对透波挡风板进行固定的螺栓，右波导板的结构与左波导板的结构相同。

6.一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波发生器、模式转换器、形成谐振腔的外腔体及反应室，

还包括连通波导结构，布置在微波发生器和模式转换器之间以传导微波，

外腔体和模式转换器对接，

反应室位于外腔体中，其特征是，

连通波导结构包括权利要求1-5任意一项中的波导组件，

所述外腔体上设置有通风通道，用于将谐振腔和外界进行连通，通风通道通过所述谐振腔、模式转换器、连通波导结构与所述波导组件中的引风通道连通，

当风机在引风通道处向引风管段内腔内送风时，通风通道用于出风，以在引风通道和通风通道之间形成冷却气流，

或者，当风机在引风通道处从引风管段内腔中吸风时，通风通道用于进风，以在引风通道和通风通道之间形成冷却气流。

7.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征是，外腔体包括外罩体及支撑板，通风通道设置在支撑板上。

8.根据权利要求7所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征是，外罩体底部和反应室底部形成环形间隔，支撑板在内罩体和外罩体之间的区域为环绕反应室的环形区域，通风通道由设置在支撑板的环形区域上的多个通风孔组成。

9.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征是，所述引风管段内设有风压开关，微波等离子体化学气相沉积装置还包括控制器，用于控制微波发生器工作，所述控制器与所述风压开关信号连接，以在风压开关检测到风压降低至设定值时控制微波发生器停机。