[实用新型]一种用于固晶机的晶片放置架有效
| 申请号: | 201920996191.X | 申请日: | 2019-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN209929275U | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
| 发明(设计)人: | 肖鹏;陈梅业 | 申请(专利权)人: | 安徽三优光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司: | 11390 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 胡剑辉 |
| 地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 卡板 伸缩撑柱 本实用新型 对接固定 活动安装 晶片放置 固晶机 密封卡 围套 收纳 防尘效果 内部固定 收纳结构 上端 弹簧销 螺纹栓 转动轴 下端 升降 占用 | ||
1.一种用于固晶机的晶片放置架,其特征在于,包括第一卡板(2)、第二卡板(10)与伸缩撑柱(3),所述第二卡板(10)活动安装在第一卡板(2)的上部,且第二卡板(10)与第一卡板(2)之间通过伸缩撑柱(3)对接固定,所述伸缩撑柱(3)的上端与第二卡板(10)之间通过螺纹栓(15)对接固定,所述第二卡板(10)的下端外表面靠近伸缩撑柱(3)的一侧固定安装有对接围套(4),所述伸缩撑柱(3)的内部固定安装有弹簧销(13),所述第二卡板(10)的上部活动安装有密封卡罩(8);
所述第二卡板(10)与密封卡罩(8)之间通过转动轴(7)对接固定,所述第二卡板(10)的两侧外表面均活动安装有旋转卡扣(14),且第二卡板(10)与旋转卡扣(14)之间通过转动杆(18)对接固定,所述旋转卡扣(14)的前部内侧开设有弧形卡槽(16),所述旋转卡扣(14)的前部内侧开设有弧形卡槽(16),所述旋转卡扣(14)的前部内表面靠近弧形卡槽(16)的上部固定安装有密封帽(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的晶片放置架,其特征在于,所述转动杆(18)与第二卡板(10)之间通过两组限位杆(17)对接固定,所述第二卡板(10)与第一卡板(2)的内侧均等间距开设有若干组放置槽(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的晶片放置架,其特征在于,所述第一卡板(2)的底部外表面固定安装有四组固定脚垫(1),所述密封卡罩(8)的前部内侧固定安装有填充垫(9)。
4.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的晶片放置架,其特征在于,所述伸缩撑柱(3)的数量为四组,所述伸缩撑柱(3)的整体结构为圆柱体多段式结构,所述第二卡板(10)的上部靠近放置槽(6)的两侧均固定安装弧形卡板(5)。
5.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的晶片放置架,其特征在于,所述旋转卡扣(14)与密封帽(12)之间通过卡槽对接固定,所述旋转卡扣(14)的内侧固定安装有密封圈,所述第一卡板(2)的两侧固定安装有固定卡栓(11),所述第一卡板(2)通过固定卡栓(11)和旋转卡扣(14)对接固定。
6.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的晶片放置架,其特征在于,所述密封卡罩(8)的上部为弧形结构,且密封卡罩(8)的内侧设有方形槽口,所述对接围套(4)与第二卡板(10)之间通过卡槽对接固定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





