[实用新型]一种TMAH蒸发浓缩回收利用装置

权利要求书

1.一种TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于包括TMAH浓缩罐(1)，浓缩罐(1)底部连接进出料双向阀门(2)，进出料双向阀门(2)分别连接进料管线(3)和循环管线(4)，所述循环管线(4)的尾端连接至浓缩罐内的进液分布器(7)，所述进液分布器(7)设置于浓缩罐(1)内上部，浓缩罐(1)内下部设有带孔洞的蒸汽管(8)，所述蒸汽管(8)连接蒸汽入口管线(9)，浓缩罐(1)顶端连接真空管线(10)。

2.根据权利要求1所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述进液分布器(7)的底面为多孔洞弧形面，进液分布器(7)的夹角在120°以内。

3.根据权利要求1所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述蒸汽管(8)为若干圈环形管，同一环形管的相邻孔洞之间的圆心夹角为90°。

4.根据权利要求3所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述若干圈蒸汽管(8)在同一水平面上，蒸汽入口管线(9)连通每一圈环形管。

5.根据权利要求1所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述孔洞开设于蒸汽管(8)的底部。

6.根据权利要求1所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述进出料双向阀门(2)通过进料阀门(5)连接进料管线(3)，通过循环阀门(6)连接循环管线(4)。

7.根据权利要求1所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述浓缩罐(1)顶端的真空管线(10)上设有除沫器(11)。

8.根据权利要求1所述的TMAH蒸发浓缩回收利用装置，其特征在于所述循环管线(4)上设有循环泵(12)。