[实用新型]一种新型晶圆拾取装置

说明书

本实用新型公开了一种新型晶圆拾取装置，包括丝杆连接件、轴承、丝杆、直线导轨三、直线导轨二、直线导轨一、马达安装座、卡环、轴承座、滚动轴承、Y轴基座、马达、Y向运动件、Z向运动件、轴承固定件、垫片、斜导轨和旋转轴；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里运用斜坡导轨代替Z轴丝杆的向上电梯运动，用机械硬件同步解决软件脉冲信号难的问题，提高了反应速度降低了成本，从而提高了生产的效率；本实用新型中滚动轴承为两个分别与斜导轨上下导轨面相连，从而确保了升降移动的可靠性和稳定性，也就提高了使用的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种拾取装置，特别涉及一种新型晶圆拾取装置。

背景技术

目前普遍的固晶机拾取焊头Z轴都是采用丝杆加马达的电梯直线式向上运动结构，此种结构方式多一轴成本高，且对程序编写控制要求极高对信号数据同步要精准，Z轴马达失步就会撞烂拾取机械零件。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型晶圆拾取装置，解决了背景技术中的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种新型晶圆拾取装置，其创新点在于：包括丝杆连接件、轴承、丝杆、直线导轨三、直线导轨二、直线导轨一、马达安装座、卡环、轴承座、滚动轴承、Y轴基座、马达、Y向运动件、Z向运动件、轴承固定件、垫片、斜导轨和旋转轴；所述Y轴基座左端上固定连接有马达安装座；所述马达安装座左端上固定连接有马达；所述丝杆活动连接在Y轴基座内部，所述丝杆左侧轴端与马达右侧输出轴端固定连接，所述丝杆左侧通过轴承活动连接在轴承座中，所述丝杆右侧通过轴承和卡环活动连接在Y轴基座右侧中；所述轴承座固定连接在Y轴基座左侧中；所述直线导轨一呈横向固定连接在Y轴基座前面上侧；所述直线导轨三呈横向固定连接在Y轴基座前面下侧；所述Y向运动件上面后侧导槽横向活动连接在直线导轨一上，所述Y向运动件下面后侧导槽横向活动连接在直线导轨三上，所述Y向运动件后侧中央固定连接有丝杆连接件，且丝杆连接件后侧横向螺纹孔活动连接在丝杆上；所述直线导轨二呈竖向固定连接在Y向运动件前面；所述Z向运动件后侧导槽竖向活动连接在直线导轨二上，所述Z向运动件顶部固定连接有轴承固定件；所述轴承固定件后侧固定连接有旋转轴；所述旋转轴上活动连接有滚动轴承；所述垫片内侧位于旋转轴上，所述垫片设在轴承固定件后侧与所述滚动轴承前侧之间；所述滚动轴承与斜导轨相连接；所述斜导轨右侧底部固定连接在Y轴基座顶部后侧。

作为优选，所述丝杆的轴线与马达的输出轴轴线位于同一直线上。

作为优选，所述直线导轨三与直线导轨一相互平行。

作为优选，所述直线导轨二与直线导轨一相互垂直。

作为优选，所述丝杆右侧轴上设有卡槽且与卡环相匹配。

作为优选，所述滚动轴承为两个分别与斜导轨上下导轨面相连。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里运用斜坡导轨代替Z轴丝杆的向上电梯运动，用机械硬件同步解决软件脉冲信号难的问题，提高了反应速度降低了成本，从而提高了生产的效率。

(2)本实用新型中滚动轴承为两个分别与斜导轨上下导轨面相连，从而确保了升降移动的可靠性和稳定性，也就提高了使用的效果。

附图说明

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图。

1-丝杆连接件；2-轴承；3-丝杆；4-直线导轨三；5-直线导轨二；6-直线导轨一；8-马达安装座；9-卡环；11-轴承座；15-滚动轴承；30-Y轴基座；31-马达；36-Y向运动件；37-Z向运动件；39-轴承固定件；40-垫片；45-斜导轨；52-旋转轴。