[实用新型]一种新型晶圆拾取装置

权利要求书

1.一种新型晶圆拾取装置，其特征在于：包括丝杆连接件(1)、轴承(2)、丝杆(3)、直线导轨三(4)、直线导轨二(5)、直线导轨一(6)、马达安装座(8)、卡环(9)、轴承座(11)、滚动轴承(15)、Y轴基座(30)、马达(31)、Y向运动件(36)、Z向运动件(37)、轴承固定件(39)、垫片(40)、斜导轨(45)和旋转轴(52)；

所述Y轴基座(30)左端上固定连接有马达安装座(8)；

所述马达安装座(8)左端上固定连接有马达(31)；

所述丝杆(3)活动连接在Y轴基座(30)内部，所述丝杆(3)左侧轴端与马达(31)右侧输出轴端固定连接，所述丝杆(3)左侧通过轴承(2)活动连接在轴承座(11)中，所述丝杆(3)右侧通过轴承(2)和卡环(9)活动连接在Y轴基座(30)右侧中；

所述轴承座(11)固定连接在Y轴基座(30)左侧中；

所述直线导轨一(6)呈横向固定连接在Y轴基座(30)前面上侧；

所述直线导轨三(4)呈横向固定连接在Y轴基座(30)前面下侧；

所述Y向运动件(36)上面后侧导槽横向活动连接在直线导轨一(6)上，所述Y向运动件(36)下面后侧导槽横向活动连接在直线导轨三(4)上，所述Y向运动件(36)后侧中央固定连接有丝杆连接件(1)，且丝杆连接件(1)后侧横向螺纹孔活动连接在丝杆(3)上；

所述直线导轨二(5)呈竖向固定连接在Y向运动件(36)前面；

所述Z向运动件(37)后侧导槽竖向活动连接在直线导轨二(5)上，所述Z向运动件(37)顶部固定连接有轴承固定件(39)；

所述轴承固定件(39)后侧固定连接有旋转轴(52)；

所述旋转轴(52)上活动连接有滚动轴承(15)；

所述垫片(40)内侧位于旋转轴(52)上，所述垫片(40)设在轴承固定件(39)后侧与所述滚动轴承(15)前侧之间；

所述滚动轴承(15)与斜导轨(45)相连接；

所述斜导轨(45)右侧底部固定连接在Y轴基座(30)顶部后侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆拾取装置，其特征在于：所述丝杆(3)的轴线与马达(31)的输出轴轴线位于同一直线上。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆拾取装置，其特征在于：所述直线导轨三(4)与直线导轨一(6)相互平行。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆拾取装置，其特征在于：所述直线导轨二(5)与直线导轨一(6)相互垂直。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆拾取装置，其特征在于：所述丝杆(3)右侧轴上设有卡槽且与卡环(9)相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种新型晶圆拾取装置，其特征在于：所述滚动轴承(15)为两个分别与斜导轨(45)上下导轨面相连。