[实用新型]分配装置及蒸镀装置

说明书

涉及太阳能电池技术领域，提供一种分配装置及蒸镀装置，分配装置包括进气管以及分配管，所述进气管一端接通至蒸发源，所述进气管另一端与所述分配管连接；所述分配管包括与所述进气管连接的进气端，以及远离所述进气管的封口端；所述分配管为螺旋结构，且由进气端向封口端的外径呈逐步扩大；所述分配管上间隔地开设有多个出气孔。本实施例中分配装置，由蒸发源至被加工面之间采用渐开式螺旋管这种平滑过渡的布管送气方式，可以确保被加工面的单位面积上对应的出气孔分布均匀，从而提高蒸镀加工面的均匀性，提高成品率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别涉及一种分配装置及蒸镀装置。

背景技术

随着科技的发展，铜铟镓硒(简称：CIGS)太阳能电池板的应用越来越广泛，CIGS太阳能电池板包括CIGS膜层，且通常使用蒸镀装置来制备CIGS膜层。

蒸镀装置包括蒸镀腔、分配管、金属源蒸发源以及硒源蒸发源。在制备GIGS膜层的过程中，需要将金属源放入金属源蒸发源、硒源放入硒源蒸发源，并将基板以及该金属源蒸发源和硒源蒸发源放入蒸镀腔内，使得金属源蒸发源以及硒源蒸发源均正对基板，分配管与硒源蒸发源连通。之后加热金属源蒸发源，以使得金属源熔化后向基板辐射金属粒子，并加热硒源蒸发源，以使得硒源蒸发出硒蒸汽，该硒蒸汽会进入分配管，并经分配管分配后到达基板，以使得基板上的金属粒子以及硒蒸汽反应形成GIGS膜层。

在真空蒸镀设备中，为了提高蒸发源扩散的均匀性，会采用一些辅助扩散的开孔管状结构，这类管状结构的装置被称作分配器。这类分配器再加工难度大，需要调整蒸发源均匀性时，很难再开孔或封堵孔位。现设备中常见的分配器结构较简单，一般为竖直与水平的管路连接，然后在水平管路上开孔，用于蒸发物质的扩散，受限于水平管路的形状，扩散范围与扩散角度固定，导致大范围加工时，均匀性不佳，被加工镀件上的镀层呈现出一种中间向两侧逐渐变薄的扇形分布。

另外一方面，现有分配装置一般采用耐腐蚀/高温的石英或高分子陶瓷材质。此类材质的耐受性较好，但缺点在于易碎且在温度急剧变化时容易发生应力破损。

实用新型内容

为解决现有技术中蒸发源分配装置均匀性不佳的问题，本实用新型的一个主要目的在于，提供一种扩散均匀性更好的分配装置及蒸镀装置。

为实现上述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：

根据本实用新型的一个方面，提供了一种分配装置，包括进气管以及分配管，所述进气管一端接通至蒸发源，所述进气管另一端与所述分配管连接；所述分配管包括与所述进气管连接的进气端，以及远离所述进气管的封口端；所述分配管为螺旋结构，该螺旋结构的外径由进气端向封口端呈逐步扩大；所述分配管上间隔地开设有多个出气孔。

由上述技术方案可知，本实用新型的分配装置及蒸镀装置的优点和积极效果在于：

相比于原有分配装置，本申请实施例中分配装置采用渐开式螺旋管进行气体分配，由蒸发源至被加工面之间采用渐开式螺旋管这种平滑过渡的布管送气方式，可以确保被加工面的单位面积上对应的出气孔分布均匀，从而提高蒸镀加工面的均匀性，提高成品率。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本实用新型的优选实施例的详细说明，本实用新型的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本实用新型的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1为本实用新型实施例提供的分配装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的分配装置的侧视结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的分配装置的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的分配装置的使用状态侧视图。

具体实施方式