[实用新型]芯片表面清洁模组

说明书

本实用新型涉及自动化清洁设备技术领域，尤其是指一种芯片表面清洁模组，所述机架固定有安装板、连接安装板的安装底座和装设于安装板驱动安装底座靠近或远离清洁机械手的第二驱动装置，该安装底座装设有洁具安装台、环形布设于洁具安装台的若干个卡接槽和驱动洁具安装台转动的第三驱动装置，所述机架装设有位于清洁机械手上方的视觉检测装置，所述第一驱动装置和清洁机械手均装设于安装板，本套模组自动化程度高，可实时检测需清洁产品表面与清洁机械手的距离，实现灵活、高效高质量的清洁效果。

技术领域

本实用新型涉及自动化清洁设备技术领域，尤其是指一种芯片表面清洁模组。

背景技术

CMOS中文学名为互补金属氧化物半导体，它本是计算机系统内一种重要的芯片，保存了系统引导最基本的资料。CMOS的制造技术和一般计算机芯片没什么差别，主要是利用硅和锗这两种元素所做成的半导体，使其在CMOS上共存着带N（带-电）和P（带+电）级的半导体，这两个互补效应所产生的电流即可被处理芯片记录和解读成影像。后来发现CMOS经过加工也可以作为数码摄影中的图像传感器，CMOS传感器也可细分为被动式像素传感器与主动式像素传感器。

CMOS芯片的生产工艺流程中，有对CMOS芯片的表面进行清洁处理的工序，而目前市场上仍有大部分厂家使用人工清洁，人工手持擦拭的布块进行逐个擦拭，但该类型的芯片产品较为小型而其需擦拭的表面部分则更加小，使用手工擦拭难以擦拭干净，且人工操作容易出现漏擦、效率低以及容易造成二次脏污的情况发生。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种自动化程度高，可实时检测需清洁产品表面与清洁机械手的距离，实现灵活、高效高质量的清洁效果的芯片表面清洁模组。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种芯片表面清洁模组，包括机架、装设于机架的清洁机械手和驱动清洁机械手上下运动的第一驱动装置，所述机架固定有安装板、连接安装板的安装底座和装设于安装板驱动安装底座靠近或远离清洁机械手的第二驱动装置，该安装底座装设有洁具安装台、环形布设于洁具安装台的若干个卡接槽和驱动洁具安装台转动的第三驱动装置，所述机架装设有位于清洁机械手上方的视觉检测装置，所述第一驱动装置和清洁机械手均装设于安装板。

优选的，所述洁具安装台设置有第一卡接层和第二卡接层，若干个卡接槽分别环形布设于第一卡接层和第二卡接层的外沿处。

优选的，若干个卡接槽均从第一卡接层和第二卡接层的侧壁向内延伸设置，且第一卡接层的卡接槽和第二卡接层的卡接槽均一一对应设置。

优选的，所述机架固定有承载板和贯穿承载板设置的导通孔，该承载板水平布设于清洁机械手的上方，所述视觉检测装置装设于承载板与导通孔对齐设置，所述机架固定有视觉折射装置，该视觉折射装置位于导通孔的正下方。

优选的，所述清洁机械手包括第一夹爪、第二夹爪和驱动第一夹爪和第二夹爪相互靠近或远离的第四驱动装置。

本实用新型的有益效果在于：提供了一种芯片表面清洁模组，在实际的生产活动中，该套清洁模组是整套清洁设备中的一部分，所述的机架则是设备中的壳体支架部分，虽附图中并未显示，但根据该套模组以示的结构布局，机架部分可灵活设计或直接套用现有的壳体支架来配套。该套模组可直接与流水线结合作业，自动化将产品传输至清洁机械手的下方，待视觉检测装置将清洁机械手与需清洁产品表面的距离检测完成后，便会驱动清洁机械手抓取卡接在洁具安装台上的清洁棒向下移动，直至清洁棒抵接需清洁产品的表面，完成清洁，清洁机械手抓取完一根清洁棒后，洁具安装台会自动后退然后自转换取下一个清洁棒与清洁机械手对齐，实现快速抓取清洁效果，视觉检测装置的布设，使其可灵活应对传输过来高度不一致的产品，更好的配合流水线生产，防止抵接到产品表面的力度过大或过小，造成损坏产品或清洁质量差的情况发生。