[实用新型]芯片表面清洁模组

权利要求书

1.芯片表面清洁模组，包括机架、装设于机架的清洁机械手（1）和驱动清洁机械手（1）上下运动的第一驱动装置（11），其特征在于：所述机架固定有安装板（2）、连接安装板（2）的安装底座（3）和装设于安装板（2）驱动安装底座（3）靠近或远离清洁机械手（1）的第二驱动装置（31），该安装底座（3）装设有洁具安装台（4）、环形布设于洁具安装台（4）的若干个卡接槽（41）和驱动洁具安装台（4）转动的第三驱动装置（42），所述机架装设有位于清洁机械手（1）上方的视觉检测装置（5），所述第一驱动装置（11）和清洁机械手（1）均装设于安装板（2）。

2.根据权利要求1所述的芯片表面清洁模组，其特征在于：所述洁具安装台（4）设置有第一卡接层（43）和第二卡接层（44），若干个卡接槽（41）分别环形布设于第一卡接层（43）和第二卡接层（44）的外沿处。

3.根据权利要求2所述的芯片表面清洁模组，其特征在于：若干个卡接槽（41）均从第一卡接层（43）和第二卡接层（44）的侧壁向内延伸设置，且第一卡接层（43）的卡接槽（41）和第二卡接层（44）的卡接槽（41）均一一对应设置。

4.根据权利要求1所述的芯片表面清洁模组，其特征在于：所述机架固定有承载板（6）和贯穿承载板（6）设置的导通孔（61），该承载板（6）水平布设于清洁机械手（1）的上方，所述视觉检测装置（5）装设于承载板（6）与导通孔（61）对齐设置，所述机架固定有视觉折射装置（7），该视觉折射装置（7）位于导通孔（61）的正下方。

5.根据权利要求1所述的芯片表面清洁模组，其特征在于：所述清洁机械手（1）包括第一夹爪（12）、第二夹爪（13）和驱动第一夹爪（12）和第二夹爪（13）相互靠近或远离的第四驱动装置（14）。