[实用新型]一种导电玻璃清洗装置有效
申请号: | 201920928517.5 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN209708957U | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/02 |
代理公司: | 33272 杭州奥创知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨文华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电玻璃 清洗 真空腔体 本实用新型 弹性密封条 真空吸气孔 框体开口 框体 内腔 导电玻璃表面 半导体层 框体内腔 喷淋装置 清洗过程 清洗装置 外侧边缘 周缘设置 非导电 开口处 吹干 导电 顶面 废液 风刀 附着 贴合 制备 背面 开口 残留 回收 | ||
1.一种导电玻璃清洗装置,包括设有内腔的框体,所述内腔的一面设置有开口,待清洗的导电玻璃放置在框体的开口处,其特征在于,在所述框体开口的外侧边缘设置真空腔体,在所述真空腔体的顶面设置多个真空吸气孔,在所述框体开口的顶部沿其周缘设置弹性密封条,待清洗的导电玻璃的背面被贴合在真空腔体的真空吸气孔和弹性密封条上,在所述框体内腔中设置了清洗导电玻璃的喷淋装置和吹干导电玻璃表面附着残留清洗液体的风刀。
2.如权利要求1所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,所述真空腔体通过真空管外接有真空泵。
3.如权利要求1所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,在所述框体内腔中设置了传输带,所述风刀设置在传输带上,与所述传输带一起来回移动。
4.如权利要求3所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,所述传输带通过传动杆与伺服电机联接,所述伺服电机通过传动杆带动传输带来回移动。
5.如权利要求1所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,在所述框体的底部设置了液体收集口,用于收集喷淋装置清洗导电玻璃后遗留的清洗液体,所述液体收集口通过管路与废液桶连通。
6.如权利要求1所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,所述弹性密封条的材料为橡胶。
7.如权利要求1所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,所述喷淋装置设置有喷淋清洗用的喷嘴。
8.如权利要求1所述的导电玻璃清洗装置,其特征在于,所述喷淋装置通过水管与盛装有清洗剂的容器连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造