[实用新型]一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架

说明书

本实用新型一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架，包括有支撑柱、滑动套设在支撑柱上的移动环、驱动移动环滑动的驱动结构，移动环下端连接若干拉杆，支撑柱设有环形凸台；还包括环绕环形凸台设置的若干悬挂组件，悬挂组件包括一挂钩、一移动挂板和一连杆，挂钩连接在环形凸台的侧面，移动挂板上端设有卡钩，下端设有从底部向上延伸的移动槽，移动挂板通过卡钩卡挂在环形凸台的上端面上，挂钩穿过移动槽；环形凸台设有容许所述拉杆穿过的滑槽，拉杆与同一环形凸台上的悬挂组件一一对应，且连杆一端铰接拉杆上，另一端连接在移动挂板上。本实用新型能够自动将挂架上的所有车刀均与挂钩一次性脱离，因此有利于提高自动化程度及安全性能。

技术领域

本实用新型涉及车刀挂架，特别是涉及一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架。

背景技术

直流溅射制备薄膜是在高真空环境，利用电浆高能离子轰击靶材表面，使靶材原子产生动能转移而脱离，沉积于基材表面从而形成薄膜的。台湾国立清华大学叶均蔚教授在1995年提出高熵合金的观念，它由5种以上、13种以下的元素组成，其中每种主元素的原子分数介于5％～35％之间，也可加入次元素来改质，高熵是其重要特征，有助于合金微结构简化，使微结构倾向于纳米化及非晶化。与传统合金相比高熵合金具有高强度、高硬度、耐腐蚀、耐高温等特点，可作为刀具溅镀薄膜的靶材。表面具有高熵合金薄膜的车刀，通常也具有耐高温、硬度高、耐磨寿命长的特点。目前有一种直流磁控溅射高熵合金薄膜的车刀挂架，用于在溅射高熵合金薄膜时悬挂车刀，这种挂架设置有用于悬挂车刀的多个挂钩，这种挂架虽然能够通过多个挂钩同时悬挂多把车刀，但是在溅镀完成后取出车刀时需要人工手动将车刀一一从挂钩上摘下，因此不利于自动化生产，并且刚刚溅镀完成的刀具其通常具有较高的温度，通过人手动摘取车刀也具有一定的安全隐患。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架，其能够自动将挂架上的所有车刀均与挂钩一次性脱离，因此有利于提高自动化程度及安全性能。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架，包括有竖直设置的支撑柱、能够滑动地套设在所述支撑柱上的移动环、驱动所述移动环沿支撑柱滑动的驱动结构，所述移动环的下端面连接有竖直设置的若干拉杆，所述支撑柱中部设置有环形凸台；还包括有环绕所述环形凸台设置的若干悬挂组件，所述悬挂组件均包括有一挂钩、一移动挂板和一连杆，所述挂钩连接在所述环形凸台的侧面，所述移动挂板的上端设置有卡钩，且下端设置有从底部向上延伸的移动槽，所述移动挂板的上端通过所述卡钩卡挂在所述环形凸台的上端面上，所述挂钩穿过相应所述移动挂板的移动槽；所述环形凸台上设置有容许所述拉杆穿过且上下滑动的滑槽，所述拉杆与同一所述环形凸台上的悬挂组件一一对应，且所述连杆一端铰接在相应的拉杆上，另一端连接在相应的所述移动挂板上。

本实用新型的有益效果是：在采用本实用新型所述的挂架进行溅镀薄膜时，首先将各个车刀悬挂在各个挂钩上，并且使车刀位于挂钩的外侧；而在溅镀完成后需要使车刀从挂钩上脱离时，只需启动驱动结构，使得移动环向下滑动，并使得拉杆跟随移动环一起向下滑动即可；因为，移动挂板上端是通过卡钩卡挂在环形凸台上表面上的，因此在拉杆下移时，连杆将使得移动挂板的下端向上抬起，从而将悬挂于各个挂钩上的各个车刀托起，使得各个车刀均能与各个挂钩自动脱离。因此，本实用新型能够有效提高车刀与挂钩脱离的效率，进而提高挂架的自动化程度，并且在车刀与挂钩脱离的过程中，也无需人手与溅镀后的车刀进行接触，所以也能够有效提高安全性能避免烫伤。

作为上述技术方案的改进，所述连杆设置成L形。设置成L形可以有效避免在连杆运动过程中与环形凸台之间的干涉和碰撞。

进一步，所述环形凸台设置有多个，每个所述环形凸台均环绕设置有若干悬挂组件，以使得挂架能够悬挂更多的车刀，从而增加单次溅镀能够悬挂的车刀数量，以提高溅镀效率。