[实用新型]一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架有效

专利信息
申请号: 201920923259.1 申请日: 2019-06-18
公开(公告)号: CN210261967U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 万松峰;刘炽华;王康;丁佳伟 申请(专利权)人: 东莞职业技术学院
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/50
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 赵东明;熊思远
地址: 523808 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 直流 磁控溅射 合金 薄膜 车刀 挂架
【权利要求书】:

1.一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:包括有竖直设置的支撑柱(1)、能够滑动地套设在所述支撑柱(1)上的移动环(2)、驱动所述移动环(2)沿支撑柱(1)滑动的驱动结构,所述移动环(2)的下端面连接有竖直设置的若干拉杆(3),所述支撑柱(1)中部设置有环形凸台(11);还包括有环绕所述环形凸台(11)设置的若干悬挂组件,所述悬挂组件均包括有一挂钩(41)、一移动挂板(42)和一连杆(43),所述挂钩(41)连接在所述环形凸台(11)的侧面,所述移动挂板(42)的上端设置有卡钩(421),且下端设置有从底部向上延伸的移动槽(422),所述移动挂板(42)的上端通过所述卡钩(421)卡挂在所述环形凸台(11)的上端面上,所述挂钩(41)穿过相应所述移动挂板(42)的移动槽(422);所述环形凸台(11)上设置有容许所述拉杆(3)穿过且上下滑动的滑槽,所述拉杆(3)与同一所述环形凸台(11)上的悬挂组件一一对应,且所述连杆(43)一端铰接在相应的拉杆(3)上,另一端连接在相应的所述移动挂板(42)上。

2.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:所述连杆(43)设置成L形。

3.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:所述环形凸台(11)设置有多个,每个所述环形凸台(11)均环绕设置有若干悬挂组件。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:所述支撑柱(1)内部设置有滑动腔(13),所述驱动结构包括有从上至下依次安装在所述滑动腔(13)内的压缩弹簧(5)、顶杆(6)、减速弹簧(7),所述移动环(2)跟随所述顶杆(6)一起上下滑动。

5.根据权利要求4所述的一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:还包括有控制结构,所述控制结构包括有按钮(81)和L形控制杆(82);所述支撑柱(1)的侧壁开设有连通所述滑动腔(13)的限位槽(12),所述限位槽(12)沿竖直方向延伸;所述L形控制杆(82)安装在所述顶杆(6)上,且一端穿过所述限位槽(12),并与所述移动环(2)沿径向滑动连接,另一端连接有限位块(821),所述滑动腔(13)的内壁上设置有与所述限位块(821)适配的限位缺口;按压所述按钮(81)能够使所述L形控制杆(82)沿径向向内移动,从而使限位块(821)脱离限位缺口。

6.根据权利要求5所述的一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:所述控制结构还包括有复位弹簧(83),所述复位弹簧(83)安装在所述顶杆(6)上,且用于控制所述L形控制杆(82)自动沿径向向外移动复位。

7.根据权利要求4所述的一种直流磁控溅射高熵合金薄膜车刀挂架,其特征在于:所述移动环(2)上设置有把手(21)。

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