[实用新型]单带式硅片分离输送装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片输送装置，尤其是单带式硅片分离输送装置，包括输送带，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括输送座；主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。本实用新型提供的单带式硅片分离输送装置结构简单、使用方便、能准确、平稳地实现硅片分离、输送、易加工装配。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片输送装置，尤其是单带式硅片分离输送装置。

背景技术

当硅锭线切割完成后需要将层叠在一起的硅片进行分离，目前均是将硅片竖直放置，且位于竖直设置的输送带的一侧，通过送料装置将硅片压向输送带，输送带将分离的硅片带走，但是这种方式硅片输送不理想，硅片容易与输送带脱离，并且由于采用两个输送带，两个输送带容易出现不同步的情况，容易导致硅片碎裂。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种能够有效吸附硅片，且不易损坏硅片的单带式硅片分离装置，具体技术方案为：

单带式硅片分离输送装置，包括输送带，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括输送座；主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。

通过采用上述技术方案，输送座竖直设置或倾斜一定的角度，层叠的硅片竖直放置，且位于输送带的一侧，送料装置将硅片推向输送带，吸气孔与抽气装置连接，抽气装置使吸气孔产生吸力，当吸气孔与吸附孔相通时，吸力将硅片吸附到输送带上，然后输送带带动硅片上升，将硅片输送给其它输送装置，由于采用真空吸附，硅片不易与输送带分离，且采用一根输送带，不存在运行不同步的情况，硅片不易碎裂，硅片分离输送效果好。

由于吸附孔和吸气孔均设有多个，能够保证硅片输送过程中不掉落。

优选的，所述输送带的背面设有同步齿；所述主动轮和从动轮上均设有同步齿。

通过采用上述技术方案，输送带、主动轮和从动轮均设有同步齿能够保证输送带稳定的转动，避免打滑。

优选的，所述吸附孔为腰形孔。

通过采用上述技术方案，腰形孔沿输送带的宽度方向设置，使吸附孔能够有效的与吸气孔对应。

优选的，所述吸附孔和吸气孔均设有两列。

通过采用上述技术方案，两列吸附孔和吸气孔能够保证硅片稳定的吸附在输送带上，不发生转动。

优选的，所述吸盘上设有吸气槽和连接孔，所述吸气槽分别与连接孔和吸气孔相通。

通过采用上述技术方案，吸气槽使吸气孔集中吸气，减少管路。连接孔与抽气装置连接。

优选的，所述输送带的宽度不小于硅片宽度的一半。

通过采用上述技术方案，输送带宽度太小容易导致硅片吸附不稳定。

优选的，还包括张紧座和张紧螺钉，所述张紧座上装有从动轮，所述输送座的两侧设有张紧孔，所述张紧孔为腰形孔，所述张紧螺钉插座张紧孔中，所述张紧螺钉用于将张紧座固定在输送座上。

通过采用上述技术方案，腰形的张紧孔用于调整张紧座的位置，从而方便张紧输送带。

优选的，所述输送座上设有张紧定位槽，所述张紧座安装在张紧定位槽中。

通过采用上述技术方案，张紧定位槽方便对输送带进行定位。