[实用新型]单带式硅片分离输送装置

权利要求书

1.单带式硅片分离输送装置，包括输送带，其特征在于，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括

输送座；

主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；

从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及

吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。

2.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述输送带的背面设有同步齿；

所述主动轮和从动轮上均设有同步齿。

3.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述吸附孔为腰形孔。

4.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述吸附孔和吸气孔均设有两列。

5.根据权利要求4所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述吸盘上设有吸气槽和连接孔，所述吸气槽分别与连接孔和吸气孔相通。

6.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述输送带的宽度不小于硅片宽度的一半。

7.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

还包括张紧座和张紧螺钉，所述张紧座上装有从动轮，所述输送座的两侧设有张紧孔，所述张紧孔为腰形孔，所述张紧螺钉插座张紧孔中，所述张紧螺钉用于将张紧座固定在输送座上。

8.根据权利要求7所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述输送座上设有张紧定位槽，所述张紧座安装在张紧定位槽中。

9.根据权利要求1或4所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述多个吸附孔沿输送带的长度方向阵列设置，所述多个吸附孔组成吸孔组，所述吸孔组的长度不大于硅片的长度。

10.根据权利要求9所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，

所述吸孔组不少于两组，且吸孔组之间的距离不小于硅片的长度。