[实用新型]一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚有效
| 申请号： | 201920917652.X | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210560696U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王文冲;王燕东;迟力峰 | 申请（专利权）人： | 苏州驰鸣纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 陈栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 任意 安装 角度 有机 真空 蒸发 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚，其特征在于，包括坩埚本体（1）和密封带（7），所述坩埚本体（1）包括顶盖（2）和坩埚壁（3），所述坩埚本体（1）为U形结构，所述坩埚本体（1）顶部半圆形顶盖（2）可拆卸，所述顶盖（2）通过密封带（7）与所述坩埚壁（3）固定，所述顶盖（2）与所述坩埚壁（3）的连接面（4）为波纹形连接面，且所述连接面（4）表面经过磨砂处理以加强密封性，所述顶盖（2）和坩埚壁（3）靠近所述连接面（4）一端都设有一环形限位密封槽（6），所述坩埚本体（1）下端开口处设有向坩埚内部凹陷突起形成内部凹槽。
2.根据权利要求1所述的一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚，其特征在于，所述环形限位密封槽（6）与所述连接面（4）平行。
3.根据权利要求1所述的一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚，其特征在于，所述密封带（7）为环形橡胶密封带，所述密封带（7）内环中间的两侧设置环形限位密封突起（5），所述环形限位密封突起（5）位置及大小与所述顶盖（2）和坩埚壁（3）的环形限位密封槽（6）匹配。
4.根据权利要求1所述的一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚，其特征在于，所述坩埚本体（1）材质为石英。
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