[实用新型]一种快捷的半导体器件清洗装置有效
申请号: | 201920910245.6 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN209843675U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 卫静婷;陈利伟 | 申请(专利权)人: | 广东开放大学(广东理工职业学院) |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/12;B08B3/14 |
代理公司: | 44555 深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 陈文姬 |
地址: | 510030 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 滤桶 供气机 连接座 清洗液 中空板 底端 转动 半导体器件 本实用新型 充气部件 加气装置 离心方式 连接凸块 滤水装置 螺纹连接 密闭连接 清洗装置 驱动电机 轴承作用 充气口 出水管 机体顶 连接槽 气软管 再启动 转动轴 外部 板槽 杆槽 沥干 取下 上冲 硬管 支脚 置入 左部 左端 震荡 运转 | ||
1.一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于,包括,
机体;
机体底端四部角落与支脚焊接;
机体前端中下部焊接有出水管,出水管顶端中部与调节阀固定连接,出水管后端与清洗槽内壁连通;
机体前端左下部与开关螺栓连接,开关左端设置有电源线;
机体顶端左部设置有加气装置;
机体左右两端面均固定嵌入有超声波组件,并且超声波组件均与清洗槽内壁连通;
机体底端中部设置有滤水装置。
2.根据权利要求1所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述加气装置包括放置板、板槽、杆槽、支撑板、置气软管、硬管、中空板和气孔,所述放置板右端中部设置有板槽,所述杆槽设置于放置板顶端右中部,所述支撑板底端与放置板顶端左前部焊接,所述置气软管贯穿支撑板左右两端,并且支撑板与置气软管固定连接,所述硬管顶端与置气软管右端底部热熔连接,所述中空板顶端中部与硬管热熔连接,所述中空板顶端设置有气孔,所述机体顶端左部与放置板螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述滤水装置包括外壳、驱动电机、转动轴、轴承、连接座、连接凸块和清洗滤桶,所述外壳内壁底端设置有驱动电机,所述转动轴底端与驱动电机固定插接,所述轴承内壁与转动轴外表面上部固定插接,所述连接座底端中部与转动轴焊接,所述清洗滤桶底端中部与连接凸块焊接,所述连接凸块外表面中部与连接座顶端中部螺纹连接,所述轴承外表面中部固定嵌入机体底端中部。
4.根据权利要求1所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述超声波组件包括超声波发生器和超声换能器,所述超声波发生器左端与超声换能器右端螺栓连接,所述超声换能器左端与清洗槽内壁连通。
5.根据权利要求1所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述超声波组件设置有六组,并且超声波组件对称分布在机体左右两端面。
6.根据权利要求1所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述调节阀顶端设置有转动凸块,并且转动凸块外表面粗糙。
7.根据权利要求2所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述中空板顶端面设置有金属丝网层。
8.根据权利要求1或3所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述清洗槽内壁最小截面与中空板顶底两端面均呈圆形状,并且清洗槽内壁最小截面大于中空板顶底两端面5mm。
9.根据权利要求3所述的一种快捷的半导体器件清洗装置,其特征在于:所述连接凸块外表面中部与连接座顶端中部设置有连接口,并且连接口内壁设置有螺纹,连接口内壁与连接凸块外表面中部相互嵌合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造