[实用新型]工件传输系统及激光退火设备

权利要求书

1.一种工件传输系统，用于在工件存储器、预处理机构(20)和工件台(30)之间传输工件，其特征在于，所述工件传输系统包括：

传输机械手(51)，所述传输机械手(51)在所述工件存储器、所述预处理机构(20)和所述工件台(30)之间传输所述工件，所述传输机械手(51)通过管路(54)连接厂务气源(52)，所述传输机械手(51)被配置为能够在所述厂务气源(52)出现异常后使所述工件处于安全工位；

备用气源(53)，与所述厂务气源(52)并联设置，所述备用气源(53)被配置为在所述厂务气源(52)出现异常时为所述传输机械手(51)供气。

2.根据权利要求1所述的工件传输系统，其特征在于，所述传输机械手(51)被配置为能够在所述厂务气源(52)出现异常后获取工件吸附方向，若所述传输机械手(51)从所述工件上方吸附所述工件，则所述传输机械手(51)携带所述工件翻转180°使所述工件处于安全工位。

3.根据权利要求1所述的工件传输系统，其特征在于，所述备用气源(53)的稳定供气时长至少为30s。

4.根据权利要求1所述的工件传输系统，其特征在于，还包括：第一压力传感器(541)，所述第一压力传感器(541)设置在所述厂务气源(52)和所述传输机械手(51)之间的管路(54)上，用于检测所述厂务气源(52)的供气压力。

5.根据权利要求4所述的工件传输系统，其特征在于，所述传输机械手(51)被配置为在预设翻转工位携带所述工件进行180°翻转，所述预设翻转工位为翻转过程中所述传输机械手(51)和所述工件与所述工件存储器、所述预处理机构(20)和所述工件台(30)均不会发生干涉的位置。

6.根据权利要求5所述的工件传输系统，其特征在于，所述预设翻转工位设置在所述传输机械手(51)与所述工件存储器和/或所述预处理机构(20)和/或所述工件台(30)之间。

7.根据权利要求5所述的工件传输系统，其特征在于，所述传输机械手(51)携带工件经过所述预设翻转工位时，所述第一压力传感器(541)被触发检测所述厂务气源(52)的供气压力。

8.根据权利要求1所述的工件传输系统，其特征在于，还包括：第一单向阀(542)和第二单向阀(543)，所述第一单向阀(542)设置在所述厂务气源(52)和所述传输机械手(51)之间的管路(54)上，所述第二单向阀(543)设置在所述备用气源(53)和所述传输机械手(51)之间的管路(54)上。

9.根据权利要求8所述的工件传输系统，其特征在于，还包括：过滤器三联件(544)，所述过滤器三联件(544)设置在所述备用气源(53)和所述第二单向阀(543)之间的管路(54)上。

10.根据权利要求1所述的工件传输系统，其特征在于，还包括：干燥器(545)，所述干燥器(545)设置在所述厂务气源(52)和所述备用气源(53)并联后的管路(54)上。

11.根据权利要求1所述的工件传输系统，其特征在于，还包括：减压阀(546)，所述减压阀(546)设置在所述厂务气源(52)和所述备用气源(53)并联后的管路(54)上。

12.根据权利要求11所述的工件传输系统，其特征在于，还包括：第二压力传感器(547)，所述第二压力传感器(547)设置在所述减压阀(546)和所述传输机械手(51)之间的管路(54)上。