[实用新型]一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构

权利要求书

1.一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，包括机台(1)和嵌设在机台顶端的传感器(2)，其特征在于，所述机台(1)的顶端中部开设有传感器导向槽(3)，所述传感器导向槽(3)内固定有第一传感器(201)，第一传感器(201)一侧的机台(1)上设置有沉槽(4)和通孔(5)，所述第一传感器(201)的电极片(203)通过螺钉固定在沉槽(4)内，所述电极片(203)连接一导线(204)，该导线(204)通过通孔(5)从机台(1)的底部穿出。

2.根据权利要求1所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，所述机台(1)的两侧风别设置有一大一小两个晶舟盒固定件(6)，两个所述晶舟盒固定件(6)均通过螺钉与机台(1)的顶端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，其中一个所述晶舟盒固定件(6)的一侧设置有第二传感器(202)，所述第二传感器(202)嵌设于机台(1)内，且第二传感器(202)的顶端与机台(1)的顶端齐平。

4.根据权利要求1所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，所述传感器导向槽(3)为一中部开设有长条形凹槽的矩形铝块，且凹槽的中部开设有一通孔，所述第一传感器(201)固定设置在通孔内。

5.根据权利要求1所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，所述机台(1)的中部开设有一定位孔(7)，所述机台(1)的底部设置有平台固定柱(8)，所述平台固定柱(8)的顶部设置有二阶圆台，且二阶圆台卡合在定位孔(7)内，所述机台(1)通过平台固定柱(8)固定安装在光阻去除机的顶部，且机台(1)的定位平面与光阻去除机的工作台面均为水平面。

6.根据权利要求3所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，所述第一传感器(201)和所述第二传感器(202)为开关传感器。

7.根据权利要求3所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，两个所述晶舟盒固定件(6)相互正对的一侧为两个相互平行的平面，其中一个晶舟盒固定件(6)的拐角处设置有直倒角。

8.根据权利要求6所述的一种光阻去除机上可检测晶舟盒平整度的上料机构，其特征在于，所述第一传感器(201)和所述第二传感器(202)并联，并形成一个连锁监控。