[实用新型]一种硅片甩干装置

说明书

本实用新型公开一种硅片甩干装置，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，转盘上安装有转动机构，转动机构包括多个固定架和多个连接板，固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有连接板，本实用新型解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转，不利于装配硅片花篮的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片辅助技术领域，尤其涉及一种硅片甩干装置。

背景技术

硅片旋转冲洗甩干是专门用于太阳能电池片和半导体硅片的生产制造过程中对湿法腐蚀清洗后的硅片进行干燥和洁净化处理的一道重要工序，现有的硅片放置盒通常都是整体放置、整体安装，不能单独翻转放置花篮或者硅片，这样操作不方便。

授权公告号为CN102706131A的专利公开了一种甩干机内筒组合件，包括内筒底板，所述内筒底板上表面环绕分布若干片盒夹具，每两个相邻的片盒夹具里端通过内加强板固定连接，同时，每两个相邻的片盒夹具外端通过外加强板固定连接；所述内筒底板中心位置处开设一个中心通孔，每个片盒夹具外表面设置若干固定孔。该专利中的片盒夹具是多个夹具装配在一起，这样无法单独翻转，不利于单独放置和查看硅片。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片甩干装置，解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转，不利于装配硅片花篮的技术问题。

一种硅片甩干装置，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，所述驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，所述转盘上安装有转动机构，所述转动机构包括多个固定架和多个连接板，所述固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有所述连接板。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述固定架至少为四个，采用本步的有益效果是通过多个固定架能够用于放置装有硅片的花篮。

进一步地，所述固定架包括限位槽、放料框和销轴，所述限位槽固定在所述转盘上，且限位槽的开口朝内，所述放料框为内侧开口的矩形框体，所述放料框位于所述限位槽内部，且放料框上方与限位槽上方通过销轴连接，采用本步的有益效果是固定架分成多个部分，放料框能够翻转，这样便于放置花篮和拿取花篮。

进一步地，所述限位槽、放料框的侧面均开设有多个通孔，采用本步的有益效果是通过多个通孔便于水滴甩出。

进一步地，所述放料框上方安装有拨动杆，采用本步的有益效果是通过拨动杆能够便于拨动放料框。

进一步地，所述驱动机构为驱动电机，所述驱动电机上方的输出端与转盘连接。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种硅片甩干装置，通过驱动机构带动转盘转动，从而实现处于转动机构内部的硅片甩干，实现硅片的干燥处理。

2.本实用新型转动机构分成多个固定架，每个固定架内部的放料框都可以单独转动，便于放置花篮，这样操作方便，而且安装方便。

3.本实用新型结构简单，操作方便，且便于维护。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种硅片甩干装置的轴测图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种硅片甩干装置的俯视图；

图3为本实用新型具体实施例所述的一种硅片甩干装置的剖视图；