[实用新型]一种硅片甩干装置有效
申请号: | 201920885370.6 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN210165665U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 李欢;卜廷宇 | 申请(专利权)人: | 扬州虹扬科技发展有限公司 |
主分类号: | F26B5/08 | 分类号: | F26B5/08;F26B25/02;F26B25/04;F26B25/16 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 潘云峰 |
地址: | 225116 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 装置 | ||
1.一种硅片甩干装置,其特征在于,包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构,所述驱动机构安装在甩干桶底部,且驱动机构上方安装有转盘,所述转盘上安装有转动机构,所述转动机构包括多个固定架和多个连接板,所述固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置,且相邻的固定架之间连接有所述连接板。
2.根据权利要求1所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述固定架至少为四个。
3.根据权利要求2所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述固定架包括限位槽、放料框和销轴,所述限位槽固定在所述转盘上,且限位槽的开口朝内,所述放料框为内侧开口的矩形框体,所述放料框位于所述限位槽内部,且放料框上方与限位槽上方通过销轴连接。
4.根据权利要求3所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述限位槽、放料框的侧面均开设有多个通孔。
5.根据权利要求4所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述放料框上方安装有拨动杆。
6.根据权利要求5所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述驱动机构为驱动电机,所述驱动电机上方的输出端与转盘连接。
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