[实用新型]一种晶体加工用预热设备有效

专利信息
申请号: 201920883311.5 申请日: 2019-06-13
公开(公告)号: CN210529110U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 何猛 申请(专利权)人: 徐州瑞朗高科石英有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F24H3/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体 工用 预热 设备
【权利要求书】:

1.一种晶体加工用预热设备,包括预热设备本体(1),其特征在于,所述预热设备本体(1)由若干个预热组件外壳(2)组成,若干个所述预热组件外壳(2)的两端分别固定设置有卡环(4)和卡勾(3),且所述卡环(4)与相邻卡勾(3)卡合连接,若干个所述预热组件外壳(2)之间通过卡环(4)和卡勾(3)拼接,若干个所述预热组件外壳(2)的两侧分别固定设置有进气接头(5)和出气接头(11),若干个所述预热组件外壳(2)的内部均开设有环形通道(8),所述环形通道(8)的内圈卡合连接有旋转环(10),所述旋转环(10)的内圈穿过预热组件外壳(2)的内圈与三个旋转导热扇片(6)的一端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶体加工用预热设备,其特征在于:所述预热组件外壳(2)与旋转环(10)两端的连接处均开设有环形限位槽,所述旋转环(10)的两端均开设有限位环(9),所述环形限位槽与限位环(9)卡和连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶体加工用预热设备,其特征在于:所述进气接头(5)的另一端和出气接头(11)的另一端均固定连接有通气管道。

4.根据权利要求1所述的一种晶体加工用预热设备,其特征在于:所述旋转导热扇片(6)的表面固定设置有若干个金属散热芯(7)。

5.根据权利要求1所述的一种晶体加工用预热设备,其特征在于:所述环形通道(8)的两端分别与进气接头(5)的一端和出气接头(11)的一端连通。

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