[实用新型]一种TCO导电膜镀膜阴极组件

说明书

本实用新型涉及TCO导电膜镀膜技术领域，目的是提供一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其包括阴极模块和匀气装置。阴极模块为单体阴极或者阴极组，阴极组包括至少两个阴极结构，且至少两个阴极结构以孪生排列的方式设置于同一侧位置。所述匀气装置设置于所述阴极模块的两侧，且被设置用于提供差异化等离子体环境，所述阴极模块的两侧分别为高氧等离子体区和低氧等离子体区。该结构能够通过在阴极模块两侧分别设置高氧等离子体区和低氧等离子体区以实现功能差异化镀膜，优化非晶硅薄膜和TCO界面接触特性，提高太阳电池的光电转化效率，该结构设计合理，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及TCO导电膜镀膜技术领域，具体涉及一种TCO导电膜镀膜阴极组件。

背景技术

太阳电池发电具有地域差异小、储量巨大、安全、无污染、资源永不枯竭等特点，已经成为21世纪新能源和可再生能源技术的主力军。其全球累积装机量已超过400GW，成为新能源的主力军。SHJ太阳电池是一种高效太阳电池技术，也称HIT^R电池。SHJ太阳电池的TCO导电膜制备技术很多，磁控溅射镀膜技术是最常使用的技术。磁控溅射镀膜根据其使用电源和电路结构不同可分为射频磁控溅射(RF)和直流磁控溅射(DC)。从SHJ太阳电池的基本结构中可以看出，其前表面和后表面覆盖有导电类型完全相反的两种非晶硅薄膜，当表面覆盖TCO导电膜后，前表面和后表面的物理接触特性差异很大。特别的，两种不同类型的非晶硅薄膜和TCO导电膜的功函数失配差异很大，很难实现良好的欧姆接触，严重影响SHJ太阳电池的输出效率。

现有技术中为了解决这一难题，通常在设备中设计多靶位阴极结构，在不同靶位上安装不同掺杂浓度的TCO靶材，制备TCO导电膜叠，起始层优化界面接触特性、终止层优化导电特性。这种方案在一定程度上可以实现良好的界面传输，但设备结构及工艺过程相对复杂，制约了太阳电池制造企业的设备选型及成本控制，严重阻碍了高效SHJ太阳电池的商业化推广及应用。

发明人在研究中发现，现有的相关技术中至少存在以下缺点：

设备结构及工艺过程相对复杂，成本高，且不能实现差异化镀膜。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种TCO导电膜镀膜阴极组件，改善现有技术的不足，其能够通过在阴极模块两侧分别设置高氧等离子体区和低氧等离子体区以实现功能差异化镀膜，优化非晶硅薄膜/TCO界面接触特性，提高太阳电池的光电转化效率，该结构设计合理，实用性强。

本实用新型的是这样实现的：

本实用新型提供了一种TCO导电膜镀膜阴极组件，用于给待镀基片镀膜，包括阴极模块和匀气装置，

所述阴极模块为单体阴极或者阴极组，所述阴极组包括至少两个阴极结构，且至少两个所述阴极结构以孪生排列的方式设置于同一侧位置；

所述匀气装置设置于所述阴极模块的两侧，且被设置用于提供差异化等离子体环境，所述阴极模块的两侧分别为高氧等离子体区和低氧等离子体区。

具体的，该TCO导电膜镀膜阴极组件能够通过在阴极模块两侧分别设置高氧等离子体区和低氧等离子体区以实现功能差异化镀膜，优化非晶硅薄膜和TCO界面接触特性，提高太阳电池的光电转化效率，该结构设计合理，实用性强。

可选的，所述单体阴极为平面阴极或旋转阴极。

具体的，旋转阴极具有利用率高，连续运行时间长的特点，其成本较高，但是利于大型工业生产，同时，平面阴极具有均匀性好、稳定性强的优点，其前期投入和维护成本低，利于小型工业生产。

可选的，所述阴极结构为平面阴极或旋转阴极。

具体的，阴极结构可以为平面阴极或者旋转阴极，阴极组包括至少两个阴极结构，其可以是平面阴极、旋转阴极或者是两种阴极的组合。