[实用新型]一种TCO导电膜镀膜阴极组件

权利要求书

1.一种TCO导电膜镀膜阴极组件，用于给待镀基片镀膜，其特征在于，包括阴极模块(10)和匀气装置，

所述阴极模块(10)为单体阴极或者阴极组，所述阴极组包括至少两个阴极结构，且至少两个所述阴极结构以孪生排列的方式设置于同一侧位置；

所述匀气装置设置于所述阴极模块的两侧，且被设置用于提供差异化等离子体环境，所述阴极模块的两侧分别为高氧等离子体区和低氧等离子体区。

2.根据权利要求1所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述单体阴极为平面阴极或旋转阴极。

3.根据权利要求1所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述阴极结构为平面阴极或旋转阴极。

4.根据权利要求1所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述匀气装置包括工艺气体控制系统和氧气控制系统(132)，所述工艺气体控制系统被设置用于控制工艺气体的供给，所述氧气控制系统(132)被设置用于控制氧气的供给。

5.根据权利要求4所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述工艺气体控制系统包括氢气控制系统(1311)、氩气控制系统(1312)和水汽控制系统(1313)，所述氢气控制系统(1311)、所述氩气控制系统(1312)和所述水汽控制系统(1313)为独立控制系统。

6.根据权利要求4所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述工艺气体控制系统为混合气体控制系统(1314)，所述混合气体控制系统(1314)被设置用于控制氢气、氩气和水汽的混合气体的供给。

7.根据权利要求4所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述阴极模块(10)的两侧设置有供气板，所述工艺气体控制系统和所述氧气控制系统(132)均匀交叉排布于所述供气板。

8.根据权利要求7所述的一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其特征在于，所述氧气控制系统(132)包括氧气匀气板和氧气出气孔(1321)，所述氧气出气孔(1321)在所述阴极模块(10)的长度方向上均匀分布，且所述氧气出气孔(1321)的大小在轴向上依次减小；

所述工艺气体控制系统包括工艺气体匀气板和工艺气体出气孔(1315)，所述工艺气体出气孔(1315)在所述阴极模块(10)的长度方向上均匀分布，且所述工艺气体出气孔(1315)的大小在轴向上依次减小。