[实用新型]一种晶圆探针台

说明书

本实用新型涉及探针台，公开了一种晶圆探针台，其技术方案要点是包括探针台本体，探针台本体的上方开有放置槽，放置槽的下方开有检测通道，检测通道与放置槽相通，放置槽内固定连接有传导圆环，传导圆环的下方设有探针卡，探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间，传导圆环上穿设有传导顶针，探针台本体的上方设有盖板，盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱，导向柱固定连接在探针台本体上，盖板连接有过流板，当盖板贴合在探针台本体上时，过流板与传导顶针之间电性连接。本实用新型在检测过程中，探针台本体的上方设有盖板，盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量，以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度，提高了晶圆最终的测试精度。

技术领域

本实用新型涉及探针台，特别涉及一种晶圆探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。

目前，市面上设计有一种品牌为Tsk，型号为UF200的探针台，这种探针台包括探针台本体，探针台本体的上方开有放置槽，放置槽的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，检测通道与放置槽相通，在放置槽内设有用于与被测晶圆电性连接的探针卡。在工作时，在检测通道内放入被测晶圆，被测晶圆与探针卡之间电性连接。接着工作人员对探针卡通电，从而实现对晶圆的检测。

但是，由于这种探针台在使用过程中，放置槽和探针卡均是暴露在空气中，空气中的扬尘或杂质会落至放置槽内和探针卡上，而晶圆的测试是较为精密的工作，长此以往，会影响探针台的测试精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆探针台，具有提高晶圆在测试环境中的洁净程度的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆探针台，包括探针台本体，所述探针台本体的上方开有放置槽，所述放置槽的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，所述检测通道与放置槽相通，所述放置槽内固定连接有传导圆环，所述传导圆环的下方设有探针卡，所述探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间，所述传导圆环上穿设有与探针卡抵触的传导顶针，所述探针台本体的上方设有盖板，所述盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱，所述导向柱固定连接在探针台本体上，所述盖板朝向放置槽的一面连接有与外界电源电性连接的过流板，当盖板贴合在探针台本体上时，所述过流板与传导顶针之间电性连接。

通过采用上述技术方案，在对晶圆进行检测时，工作人员将待检测的晶圆放置在检测通道中，使得晶圆与探针卡之间保持接触。接着工作人员下放盖板，使得盖板下方的过流板抵触到传导顶针上。外界电流通过过流板和传导顶针的引导，加载在探针卡上，以此实现对晶圆的检测。本实用新型在检测过程中，探针台本体的上方设有盖板，盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量，以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度，提高了晶圆最终的测试精度。

进一步的，所述传导圆环穿设传导顶针的位置开有弹性槽，所述弹性槽开设在传导圆环的上表面，所述传导顶针上固定链接有滑移在弹性槽中的抵挡环片，所述抵挡环片与弹性槽的槽底之间夹设有回位压簧，所述回位压簧套设在传导顶针上。

通过采用上述技术方案，当过流板压在传导顶针上时，传导顶针的底端穿出传导圆环，并抵触到探针卡上，此时回位压簧被压缩；当过流板脱离传导顶针时，传导顶针的末端在回位压簧的回弹力下再次进入传导圆环中，因此在不使用本实用新型时，传导顶针的末端（即与探针卡接触的一端）位于传导圆环中，实现了对传导顶针末端的保护，降低该端产生损坏的可能性。