[实用新型]一种晶圆探针台

权利要求书

1.一种晶圆探针台，包括探针台本体(1)，所述探针台本体(1)的上方开有放置槽(2)，所述放置槽(2)的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，所述检测通道与放置槽(2)相通，其特征在于：所述放置槽(2)内固定连接有传导圆环(3)，所述传导圆环(3)的下方设有探针卡(4)，所述探针卡(4)固定连接在放置槽(2)和检测通道之间，所述传导圆环(3)上穿设有与探针卡(4)抵触的传导顶针(31)，所述探针台本体(1)的上方设有盖板(5)，所述盖板(5)的四个拐角处滑移穿设有导向柱(6)，所述导向柱(6)固定连接在探针台本体(1)上，所述盖板(5)朝向放置槽(2)的一面连接有与外界电源电性连接的过流板(7)，当盖板(5)贴合在探针台本体(1)上时，所述过流板(7)与传导顶针(31)之间电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述传导圆环(3)穿设传导顶针(31)的位置开有弹性槽(32)，所述弹性槽(32)开设在传导圆环(3)的上表面，所述传导顶针(31)上固定链接有滑移在弹性槽(32)中的抵挡环片(311)，所述抵挡环片(311)与弹性槽(32)的槽底之间夹设有回位压簧(33)，所述回位压簧(33)套设在传导顶针(31)上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述导向柱(6)的顶部连接有升降气缸(8)，所述导向柱(6)的轴心贯通有升降孔(61)，所述升降气缸(8)的伸缩杆伸入升降孔(61)中并固定连接有升降块(81)，所述升降块(81)滑移连接在升降孔(61)中，所述导向柱(6)朝向盖板(5)的外侧壁竖向开有滑移槽(63)，所述滑移槽(63)与升降孔(61)相通，所述升降块(81)的外侧壁固定连接有伸出滑移槽(63)的托板(64)，所述托板(64)承托在盖板(5)的下表面。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述盖板(5)的下表面开有用于容纳托板(64)的让位槽(51)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述让位槽(51)的深度大于托板(64)的厚度，所述让位槽(51)的底部穿设有限位销锁(52)，所述托板(64)被夹紧在限位销锁(52)之间。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述升降孔(61)内放置有顶撑压簧(62)，所述顶撑压簧(62)被压紧在升降块(81)的下方。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述盖板(5)靠近其侧边的板身上竖向穿设有顶撑螺杆(9)，所述顶撑螺杆(9)螺纹连接于盖板(5)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述盖板(5)的上表面开有用于放置顶撑螺杆(9)的工具槽(53)，所述工具槽(53)的槽底固定连接有吸附磁铁(531)。