[实用新型]防溅射装置及开方系统

说明书

本实用新型公开了一种防溅射装置及开方系统，涉及单晶硅和多晶硅的开方设备领域，避免硅粉水浆四处飞溅。本实用新型的主要技术方案为：一种防溅射装置，包括：切割部、固定部、包裹部和移动部；固定部固定于底座，用于固定硅棒；包裹部包括壳体和第一喷水管，壳体套接于硅棒，壳体设有多组通孔，每组通孔均包括第一通孔和第二通孔，切割部分别穿过第一通孔和第二通孔，用于切割硅棒，第一喷水管设置于壳体内，用于向硅棒的切割位置喷水；移动部连接于切割部和壳体，用于带动切割部和壳体沿硅棒轴向方向往复运动。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅和多晶硅的开方设备技术领域，尤其涉及一种防溅射装置及开方系统。

背景技术

金刚石线切割机对于太阳能硅材料切割行业而言，是革命性的进步，金刚石线切割机切割工艺在日本普及率已经超过90％，在欧美该工艺也逐步得到广泛的认可和应用。在太阳能硅材料切割用的金刚石线切割机市场上，中国制造尚处于初级阶段，国内太阳能硅材料切割用的金刚石线切割机对外依存度很高，既然将金刚石线切割称之为革命性进步，显而易见的是该工艺一定有其独到的技术优势，比如金刚石线切割工艺只需要使用高压水流喷射硅棒上的切口和金刚线体，以带走金刚线体上的热量，且冲刷磨削下的硅粉，工艺条件简单，清洁环保；金刚石线切割工艺可实现高速切割，成本低廉等优点。

在执行上述切割方法时，实用新型人发现现有技术中至少存在如下问题：

携带着硅粉的水流四处飞溅，四处飞溅的硅粉水浆溅射到切割室内的各零部件表面上，一方面带来维修时清理的困难，另一方面硅粉水浆进入到摩擦副、运动副工作表面后，增加了这些表面的摩擦和磨削，加速了摩擦副、运动副的磨损和失效。增加了更换的频次，由于维修时需要清理一些工具需要介入的表面，也增加了单次维修的时间。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种防溅射装置及开方系统，主要目的是将硅粉水浆的高速动能消耗于小空间，避免硅粉水浆四处飞溅。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供了一种防溅射装置，该装置包括：切割部、固定部、包裹部和移动部。

所述固定部固定于底座，用于固定硅棒。

所述包裹部包括壳体和第一喷水管，所述壳体套接于硅棒，所述壳体设有多组通孔，每组所述通孔均包括第一通孔和第二通孔，所述切割部分别穿过所述第一通孔和所述第二通孔，用于切割硅棒，所述第一喷水管设置于所述壳体内，用于向硅棒的切割位置喷水。

所述移动部连接于所述切割部和所述壳体，用于带动所述切割部和所述壳体沿硅棒轴向方向往复运动。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，每组所述通孔的边缘向所述壳体内弯曲。

可选的，所述切割部包括切割线和多个切割线轮，偶数个所述切割线轮转动连接于所述移动部，所述切割线分别穿过所述第一通孔和所述第二通孔，穿过其中一组通孔的所述切割线滑动连接于其中两个所述切割线轮。

可选的，所述第一通孔和所述第二通孔的连线垂直于硅棒的轴向中心线。

可选的，每组所述通孔呈长条形，且沿所述壳体的轴向延伸。

可选的，每组所述通孔均设置于所述壳体远离所述移动部的轴向端侧。

可选的，所述壳体的轴向端侧设有放水口。

可选的，远离移动部的所述壳体一端开口，且可拆卸连接有端盖，所述端盖中心开孔，且套接于硅棒。