[实用新型]防溅射装置及开方系统

权利要求书

1.一种防溅射装置，其特征在于，包括：

切割部；

固定部，所述固定部固定于底座，用于固定硅棒；

包裹部，所述包裹部包括壳体和第一喷水管，所述壳体套接于硅棒，所述壳体设有多组通孔，每组所述通孔均包括第一通孔和第二通孔，所述切割部分别穿过所述第一通孔和所述第二通孔，用于切割硅棒，所述第一喷水管设置于所述壳体内，用于向硅棒的切割位置喷水；

移动部，所述移动部连接于所述切割部和所述壳体，用于带动所述切割部和所述壳体沿硅棒轴向方向往复运动。

2.根据权利要求1所述的防溅射装置，其特征在于：每组所述通孔的边缘向所述壳体内弯曲。

3.根据权利要求1所述的防溅射装置，其特征在于：所述切割部包括切割线和多个切割线轮，多个所述切割线轮转动连接于所述移动部，所述切割线分别穿过所述第一通孔和所述第二通孔，穿过其中一组通孔的所述切割线滑动连接于其中两个所述切割线轮。

4.根据权利要求3所述的防溅射装置，其特征在于：所述第一通孔和所述第二通孔的连线垂直于硅棒的轴向中心线。

5.根据权利要求3所述的防溅射装置，其特征在于：每组所述通孔呈长条形，且沿所述壳体的轴向延伸。

6.根据权利要求1至5的任一项所述的防溅射装置，其特征在于：每组所述通孔均设置于所述壳体远离所述移动部的轴向端侧。

7.根据权利要求1至5的任一项所述的防溅射装置，其特征在于：所述壳体的轴向端侧设有放水口。

8.根据权利要求1至5的任一项所述的防溅射装置，其特征在于：远离移动部的所述壳体一端开口，且可拆卸连接有端盖，所述端盖中心开孔，且套接于硅棒。

9.根据权利要求1至5的任一项所述的防溅射装置，其特征在于：所述包裹部还包括第二喷水管，所述第二喷水管盘旋贴附于所述壳体轴向内壁，且所述第二喷水管面向所述壳体内壁的一侧管壁均布有喷水孔，用于向所述壳体内壁间歇喷水。

10.一种开方系统，其特征在于，包括：

底座、滑轨和如权利要求1至9任一项所述的防溅射装置，所述底座连接于所述滑轨，所述移动部滑动连接于所述滑轨。