[实用新型]一种晶圆参数测量仪预定位校准台

说明书

本实用新型公开了一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座和支撑台，所述机座顶端固定连接有支撑台，所述支撑台顶端固定设有校准台，所述校准台顶端固定设有承载台，所述承载台内侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板表面固定连接有缓冲层，所述承载台两侧均固定连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内部活动连接有一号螺纹柱，所述校准台顶部固定设有滑动槽，所述滑动槽内部滑动连接有滑动凸起，所述支撑台内部固定连接有轴承。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作人员对晶圆进行校准，从而能够有效的提升装置在对晶圆进行测量时的准确度，且操作较为简单，便于操作人员对装置进行使用，进一步提升了装置的实用性能，适合被广泛推广和使用。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆，特别涉及一种晶圆参数测量仪预定位校准台。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

而现有的装置在对晶圆进行测量时不能对晶圆进行良好的校准，从而导致装置对晶圆测量的数据具有较大的误差，且不具有良好的稳定性，使晶圆在装置内部较为容易出现位移现象，从而不利于装置对晶圆进行测量，已经满足不了人们的需求，为此，我们提出一种晶圆参数测量仪预定位校准台。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆参数测量仪预定位校准台，设计新颖，结构简单，便于操作人员对晶圆进行校准，从而能够有效的提升装置在对晶圆进行测量时的准确度，且操作较为简单，便于操作人员对装置进行使用，进一步提升了装置的实用性能，适合被广泛推广和使用，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座和支撑台，所述机座顶端固定连接有支撑台，所述支撑台顶端固定设有校准台，所述校准台顶端固定设有承载台，所述承载台内侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板表面固定连接有缓冲层，所述承载台两侧均固定连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内部活动连接有一号螺纹柱，所述校准台顶部固定设有滑动槽，所述滑动槽内部滑动连接有滑动凸起，所述支撑台内部固定连接有轴承，所述轴承内部转动连接有二号螺纹柱，所述校准台底端固定连接有内螺纹板。

进一步地，所述承载台一侧固定设有支撑杆，且支撑杆与机座固定连接，所述支撑杆一侧壁固定连接有测量箱，所述测量箱底端活动连接有测量头。

进一步地，所述支撑台两侧均固定设有限位板，所述二号螺纹柱一端固定连接有转动把手，所述机座一侧壁固定设有操作按键。

进一步地，所述承载台通过滑动槽和滑动凸起与校准台滑动连接，所述二号螺纹柱贯穿内螺纹板内部，所述校准台通过二号螺纹柱和内螺纹板与支撑台滑动连接。

进一步地，所述测量箱通过导线与操作按键电性连接，所述缓冲层为硅橡胶材质制作的缓冲层。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

通过一号螺纹柱和内螺纹套筒的结合，可以对承载台内部的晶圆进行良好的固定，防止装置在进行正常工作时晶圆发生位移，避免影响到装置对晶圆测量的准确对，且通过支撑板和缓冲层的结合，可以对晶圆进行良好的减震效果，使校准台在进行校准移动时不易使晶圆进行震动，避免影响都装置对晶圆的校准效果，进一步提升了装置的实用性能。

通过滑动槽和滑动凸起的结合，使承载台可以在校准台顶部进行左右移动，从而便于操作人员对晶圆的左右位置进行良好的调节，其次通过二号螺纹柱和内螺纹板的结合，便于操作人员对校准台进行移动，以便于操作人员调节晶圆的前后位置，使晶圆可以满足装置的测量要求，以提升了装置对晶圆测量的准确度，操作较为简单，便于操作人员对晶圆的位置进行准确的矫正，大大的增加了装置的实用性能。