[实用新型]一种晶圆参数测量仪预定位校准台

权利要求书

1.一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座(1)和支撑台(2)，所述机座(1)顶端固定连接有支撑台(2)，其特征在于：所述支撑台(2)顶端固定设有校准台(3)，所述校准台(3)顶端固定设有承载台(4)，所述承载台(4)内侧壁固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)表面固定连接有缓冲层(6)，所述承载台(4)两侧均固定连接有内螺纹套筒(7)，所述内螺纹套筒(7)内部活动连接有一号螺纹柱(8)，所述校准台(3)顶部固定设有滑动槽(9)，所述滑动槽(9)内部滑动连接有滑动凸起(10)，所述支撑台(2)内部固定连接有轴承(11)，所述轴承(11)内部转动连接有二号螺纹柱(12)，所述校准台(3)底端固定连接有内螺纹板(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪预定位校准台，其特征在于：所述承载台(4)一侧固定设有支撑杆(14)，且支撑杆(14)与机座(1)固定连接，所述支撑杆(14)一侧壁固定连接有测量箱(15)，所述测量箱(15)底端活动连接有测量头(16)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪预定位校准台，其特征在于：所述支撑台(2)两侧均固定设有限位板(17)，所述二号螺纹柱(12)一端固定连接有转动把手(18)，所述机座(1)一侧壁固定设有操作按键(19)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪预定位校准台，其特征在于：所述承载台(4)通过滑动槽(9)和滑动凸起(10)与校准台(3)滑动连接，所述二号螺纹柱(12)贯穿内螺纹板(13)内部，所述校准台(3)通过二号螺纹柱(12)和内螺纹板(13)与支撑台(2)滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆参数测量仪预定位校准台，其特征在于：所述测量箱(15)通过导线与操作按键(19)电性连接，所述缓冲层(6)为硅橡胶材质制作的缓冲层。