[实用新型]基板抓取机械手及自动光学检测设备

权利要求书

1.一种基板抓取机械手，其特征在于，包括：

机械臂主体；

基板抓取板，设于所述机械臂主体端部；及

吸附机构，设于所述基板抓取板上；

其中，所述吸附机构包括设于所述基板抓取板四周的第一基板吸附组件，设于所述基板抓取板中心位置处的第二基板吸附组件，以及连接于所述机械臂主体上的抽真空结构，所述抽真空结构与所述第一基板吸附组件和所述第二基板吸附组件连接。

2.根据权利要求1所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述第一基板吸附组件包括与所述抽真空结构连接的多个第一基板吸嘴，多个所述第一基板吸嘴均匀布设于所述基板抓取板四周；

所述第二基板吸附组件包括与所述抽真空结构连接的多个第二基板吸嘴，多个所述第二基板吸嘴均匀布设于多个所述第一基板吸嘴围设形成的区域的中心。

3.根据权利要求2所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述基板抓取板四周均匀开设多个第一吸嘴安装孔，所述第一基板吸嘴可拆卸地安设于所述第一吸嘴安装孔处。

4.根据权利要求2所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述基板抓取板中心均匀开设多个第二吸嘴安装孔，所述第二基板吸嘴可拆卸地安设于所述第二吸嘴安装孔处。

5.根据权利要求2所述的基板抓取机械手，其特征在于，当基板设为圆形或方形时，多个所述第一基板吸嘴和多个所述第二基板吸嘴均对应布设为圆形或方形。

6.根据权利要求2-5任意一项所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述吸附机构还包括设于所述基板抓取板上、并与所述抽真空结构连接的第三基板吸附组件，所述第三基板吸附组件设于所述第一基板吸附组件和所述第二基板吸附组件之间。

7.根据权利要求6所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述第三基板吸附组件包括与所述抽真空结构连接的多个第三基板吸嘴，多个所述第三基板吸嘴均匀布设于所述基板抓取板上，多个所述第三基板吸嘴设于多个所述第一基板吸嘴和多个所述第二基板吸嘴之间。

8.根据权利要求7所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述基板抓取板上均匀开设多个第三吸嘴安装孔，所述第三基板吸嘴可拆卸地安设于所述第三吸嘴安装孔处。

9.根据权利要求7所述的基板抓取机械手，其特征在于，所述第一基板吸嘴、所述第二基板吸嘴、所述第三基板吸嘴均设置为弹簧吸嘴。

10.一种自动光学检测设备，其特征在于，包括：

检测设备主体；

承接台，设于所述检测设备主体上；及

如权利要求1-9任意一项所述的基板抓取机械手，与所述承接台对应配合。