[实用新型]一种入篮伸缩机构有效
| 申请号: | 201920843737.8 | 申请日: | 2019-06-05 |
| 公开(公告)号: | CN210668314U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
| 发明(设计)人: | 胡宏峰;王相军 | 申请(专利权)人: | 上海釜川自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 刘晓晖 |
| 地址: | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 伸缩 机构 | ||
1.一种入篮伸缩机构,包括机架,所述机架上设有料托(1)、步进电机(2)、气缸(3)及皮带(4),所述料托(1)上放有分片后的硅片,其特征在于:所述机架为倒置的T型结构,所述机架下端设有底板,机架一侧设有步进电机(2),机架一端设有料托(1),所述料托(1)下端设置气缸(3),所述气缸(3)与伸缩端(5)连接,所述气缸(3)与伸缩端(5)之间设有连接杆,所述连接杆为伸缩结构,所述气缸(3)与伸缩端(5)之间设有皮带(4),所述皮带(4)分别与气缸(3)和伸缩端(5)的一端连接,所述气缸(3)与伸缩端(5)之间形成的空腔为收纳腔(6),所述收纳腔(6)的宽度大于伸缩端(5)的宽度,所述伸缩端(5)上设有感应开关(7)。
2.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述感应开关(7)内置计数模块和急停模块,所述计数模块根据感应开关(7)计数硅片的数量,所述急停模块通过感应开关(7)感应非硅片物质后进行急停操作。
3.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述伸缩端(5)端口处设置锁死结构,所述锁死结构为圆环状弹性结构。
4.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述连接杆与气缸(3)连接后进行伸缩运动。
5.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述皮带(4)为弹性结构。
6.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述机架与底板之间设置减震装置,所述减震装置均匀设置在机架与底板之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





