[实用新型]一种入篮伸缩机构有效

专利信息
申请号: 201920843737.8 申请日: 2019-06-05
公开(公告)号: CN210668314U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 胡宏峰;王相军 申请(专利权)人: 上海釜川自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 刘晓晖
地址: 200000 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 伸缩 机构
【权利要求书】:

1.一种入篮伸缩机构,包括机架,所述机架上设有料托(1)、步进电机(2)、气缸(3)及皮带(4),所述料托(1)上放有分片后的硅片,其特征在于:所述机架为倒置的T型结构,所述机架下端设有底板,机架一侧设有步进电机(2),机架一端设有料托(1),所述料托(1)下端设置气缸(3),所述气缸(3)与伸缩端(5)连接,所述气缸(3)与伸缩端(5)之间设有连接杆,所述连接杆为伸缩结构,所述气缸(3)与伸缩端(5)之间设有皮带(4),所述皮带(4)分别与气缸(3)和伸缩端(5)的一端连接,所述气缸(3)与伸缩端(5)之间形成的空腔为收纳腔(6),所述收纳腔(6)的宽度大于伸缩端(5)的宽度,所述伸缩端(5)上设有感应开关(7)。

2.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述感应开关(7)内置计数模块和急停模块,所述计数模块根据感应开关(7)计数硅片的数量,所述急停模块通过感应开关(7)感应非硅片物质后进行急停操作。

3.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述伸缩端(5)端口处设置锁死结构,所述锁死结构为圆环状弹性结构。

4.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述连接杆与气缸(3)连接后进行伸缩运动。

5.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述皮带(4)为弹性结构。

6.根据权利要求1所述的一种入篮伸缩机构,其特征在于:所述机架与底板之间设置减震装置,所述减震装置均匀设置在机架与底板之间。

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