[实用新型]一种半导体元器件电浆清洗装置有效

专利信息
申请号: 201920814841.4 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN210120116U 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 孙国标;凌永康;杜良辉 申请(专利权)人: 江苏壹度科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 元器件 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体元器件电浆清洗装置,包括清洗篮(1),其特征在于:所述清洗篮(1)搭置在外搭板(2)上,所述外搭板(2)安装在装置外壳(3)上,所述清洗篮(1)包括外框(11)、安装在所述外框(11)底部的底板(12)以及安装在所述外框(11)左右两侧的提杆(13),所述外框(11)的前后两侧端面上均开设有一对滑动槽(111),所述滑动槽(111)的外侧安装有挡块(112),所述外框(11)侧端面的底部位置处安装有若干个滚轮(113),所述提杆(13)的两端均设有滑动杆(131),所述滑动杆(131)与所述滑动槽(111)滑动连接,所述滑动杆(131)末端的侧表面处设有凸柱(132)。

2.根据权利要求1所述的半导体元器件电浆清洗装置,其特征在于:所述外框(11)为空心的矩形框状结构,所述底板(12)呈网板状结构,所述底板(12)与所述外框(11)紧密焊接。

3.根据权利要求1所述的半导体元器件电浆清洗装置,其特征在于:所述滑动槽(111)的末端呈封闭状,所述滑动槽(111)的首端与所述外框(11)的侧端面相连通,所述挡块(112)通过螺栓安装在所述外框(11)上并将所述滑动槽(111)的首端遮盖。

4.根据权利要求1所述的半导体元器件电浆清洗装置,其特征在于:所述外框(11)每侧所述滚轮(113)的数量至少为两个,所述滚轮(113)的轮轴与所述外框(11)紧密焊接,所述外框(11)的前端面处通过螺栓安装有把手(114)。

5.根据权利要求1所述的半导体元器件电浆清洗装置,其特征在于:所述滑动杆(131)与所述提杆(13)紧密焊接,所述滑动杆(131)的末端从所述滑动槽(111)的首端伸入到所述滑动槽(111)内,所述滑动杆(131)的宽度与所述滑动槽(111)的槽宽相同。

6.根据权利要求1所述的半导体元器件电浆清洗装置,其特征在于:所述外搭板(2)的顶面上通过螺栓安装有一对挡条(21),所述外搭板(2)的前端安装有挡边(22)。

7.根据权利要求1所述的半导体元器件电浆清洗装置,其特征在于:所述外搭板(2)的末端安装在所述装置外壳(3)的表面上,所述外搭板(2)的底端安装有支撑杆(23),所述支撑杆(23)的底端安装在所述装置外壳(3)的表面上。

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