[实用新型]一种提高温度稳定性的冰水系统

说明书

本实用新型公开的一种提高温度稳定性的冰水系统，包括依次连接的回水管路、一次侧供水部、冰水机组、二次侧供水部以及供水管路，二次侧供水部的末端设置有自动阀b，二次侧供水部靠近自动阀b的位置设置有温度传感器，回水管路还连接有冷却管路的一端，冷却管路的另一端连接于二次侧供水部上自动阀b和温度传感器之间，冷却管路上设置有自动阀a，一次侧供水部、二次侧供水部、自动阀a、自动阀b以及温度传感器均信号连接于中控室。本实用新型在冰水机组切换时，将经温度传感器检测温度不达标的冰水通过冷却管路重新回收到回水管路进行制冷，形成以切换机组为中心的局部循环，待水温达标后再汇入冰水供水管路，提高了冰水系统的温度稳定性。

技术领域

本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种提高温度稳定性的冰水系统。

背景技术

冰水系统在半导体洁净厂房能源动力PCW系统温度控制和洁净室厂房温度控制占有重要位置，PCW系统温度及半导体洁净厂房温度的稳定性取决于热交换的冰水流量及温度。但目前的冰水系统在冰水机组切换时会造成冰水系统温度波动，影响冰水系统温度的稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提高温度稳定性的冰水系统，解决了目前的冰水系统在冰水机组切换时会造成冰水系统温度波动的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：一种提高温度稳定性的冰水系统，包括依次连接的回水管路、一次侧供水部、冰水机组、二次侧供水部以及供水管路，所述二次侧供水部的末端设置有自动阀b，所述二次侧供水部靠近自动阀b的位置设置有温度传感器，所述回水管路还连接有冷却管路的一端，所述冷却管路的另一端连接于所述二次侧供水部上自动阀b和温度传感器之间的位置，所述冷却管路上设置有自动阀a，所述一次侧供水部、二次侧供水部、自动阀a、自动阀b以及温度传感器均信号连接于所述冰水系统的中控室。

本实用新型的特点还在于，

所述一次侧供水部包括两个自动阀以及设置于所述两个自动阀之间的单向阀；所述二次侧供水部包括两个自动阀以及设置于所述两个自动阀之间的单向阀。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的提高温度稳定性的冰水系统在冰水机组切换时，将经温度传感器检测温度不达标的冰水通过冷却管路重新回收到回水管路进行制冷，形成以切换机组为中心的局部循环，待水温达标后再汇入冰水供水管路，通过对现有的冰水系统增加两个自动阀和温度传感器，可以将水文波动控制在±0.5℃，提高了冰水系统的温度稳定性，进而有利于提高PCW系统温度及半导体洁净厂房温度的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型一种提高温度稳定性的冰水系统的结构框图。

图中，1.冰水机组，2.回水管路，3.供水管路，4.自动阀a，5.自动阀b，6.温度传感器，7.一次侧供水部，8.二次侧供水部。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的提高温度稳定性的冰水系统的结构框图如图1所示，包括依次连接的回水管路2、一次侧供水部7、冰水机组1、二次侧供水部8以及供水管路3，二次侧供水部8的末端设置有自动阀b5，二次侧供水部8靠近自动阀b5的位置设置有温度传感器6，回水管路2还连接有冷却管路的一端，冷却管路的另一端连接于二次侧供水部8上自动阀b5和温度传感器6之间的位置，冷却管路上设置有自动阀a4，一次侧供水部、二次侧供水部、自动阀a、自动阀b以及温度传感器均信号连接于冰水系统的中控室。具体的，一次侧供水部7包括两个自动阀以及设置于两个自动阀之间的单向阀；二次侧供水部7包括两个自动阀以及设置于两个自动阀之间的单向阀。上述一次侧供水部7与二次侧供水部8与冰水系统的中控室的连接关系及控制过程均为本领域的公知常识，而在此冰水系统的基础上，增设冷却管路和设置自动阀a4、自动阀b5以及温度传感器6与中控室相连进行相应控制均是本领域技术人员可掌握的技能，在此不做赘述。

正常使用时，中控室控制一次侧供水部7和二次侧供水部8的自动阀和单向阀全部打开，回水管路2的中的水经过冰水机组1流入供水管路3。而在冰水机组1切换时，需要通过冰水机组1的水流量达标，因此温度未达标的冰水会直接进入供水系统，影响冰水供应品质。本实用新型通过增设冷却管路和自动阀a4、自动阀b5以及温度传感器6，当冰水机组1切换时，经过温度传感器6的检测，中控室将自动阀a4打开、自动阀门2关闭，使温度未达标的冰水通过冷却管路进入到回水管路中，待水温合格后通过温度传感器6反馈到中控室，经中控制远程控制自动阀a4关、自动阀b5开进行正常供水，不影响冰水供应品质。