[实用新型]一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机

说明书

本实用新型提供一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机，包括镀膜机本体、钨螺旋加热子、转动圆盘、螺纹杆、防护罩筒、耐高温硅胶垫、固定槽、限位圈、螺母座以及滚珠螺母，底座上端面安装有镀膜机本体，镀膜机本体内部设置有钨螺旋加热子，镀膜机本体内部下侧设置有转动圆盘，转动圆盘上端面安装有耐高温硅胶垫，转动圆盘上端面开设有固定槽，固定槽内部安装有螺纹杆，螺纹杆环形侧面套设有螺母座，螺母座内部设置有滚珠螺母，螺母座内侧固定有防护罩筒，螺纹杆上端面安装有限位圈，该设计解决了原有的镀膜机在蒸镀材料时由于高温容易出现溅射现象的问题，本实用新型结构合理，防护效果好，使用便利。

技术领域

本实用新型是一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机，属于镀膜机技术领域。

背景技术

镀膜机又称真空镀膜机，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。

现有技术中，现有的镀膜机在蒸镀材料时由于高温容易出现溅射现象，影响材料的加工，并且镀膜机本体内部容易受到溅射，现在急需一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，防护效果好，使用便利。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机，包括驱动总成、镀膜机本体、连接杆、底座、观察窗、钨螺旋加热子、防护机构以及转动圆盘，所述底座上端面安装有镀膜机本体，所述镀膜机本体上端面安装有驱动总成，所述镀膜机本体右侧设置有连接杆，所述镀膜机本体前端面设置有观察窗，所述镀膜机本体内部设置有钨螺旋加热子，所述镀膜机本体内部下侧设置有转动圆盘，所述镀膜机本体内部设置有防护机构，所述防护机构包括螺纹杆、防护罩筒、耐高温硅胶垫、固定槽、限位圈、螺母座以及滚珠螺母，所述转动圆盘上端面安装有耐高温硅胶垫，所述转动圆盘上端面开设有固定槽，所述固定槽内部安装有螺纹杆，所述螺纹杆环形侧面套设有螺母座，所述螺母座内部设置有滚珠螺母，所述螺母座内侧固定有防护罩筒，所述螺纹杆上端面安装有限位圈。

进一步地，所述限位圈下端面安装有插杆，所述螺纹杆上端面开设有插孔，且插杆与插孔相匹配，所述限位圈通过插杆和插孔与螺纹杆相连接。

进一步地，所述滚珠螺母与螺纹杆相匹配，所述螺母座通过滚珠螺母与螺纹杆相连接。

进一步地，所述防护罩筒设置为透明结构，所述防护罩筒上端面开设有活动口，且活动口与钨螺旋加热子相匹配，所述防护罩筒上端面安装有把手。

进一步地，所述螺纹杆设置有两个，且两个螺纹杆规格相同，两个螺纹杆对称设置在转动圆盘上端面。

进一步地，所述防护罩筒直径与耐高温硅胶垫直径相同。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机，因本实用新型添加了螺纹杆、防护罩筒、耐高温硅胶垫、固定槽、限位圈、螺母座以及滚珠螺母，该设计方便对蒸发镀膜进行防护，解决了原有的镀膜机在蒸镀材料时由于高温容易出现溅射现象的问题，提高了本实用新型的防溅射效果。

因限位圈下端面安装有插杆，螺纹杆上端面开设有插孔，且插杆与插孔相匹配，限位圈通过插杆和插孔与螺纹杆相连接，插孔和插杆方便限位圈的安装拆卸，因滚珠螺母与螺纹杆相匹配，螺母座通过滚珠螺母与螺纹杆相连接，滚珠螺母方便螺母座的移动，因防护罩筒设置为透明结构，防护罩筒上端面开设有活动口，且活动口与钨螺旋加热子相匹配，防护罩筒上端面安装有把手，活动口方便防护罩筒的使用，本实用新型结构合理，防护效果好，使用便利。

附图说明