[实用新型]一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机有效

专利信息
申请号: 201920806902.2 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN210287488U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 王金泉;王菊姿;王伟平;何东孝 申请(专利权)人: 常州市爱华真空设备有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213001 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 可防止 材料 溅射 镀膜
【权利要求书】:

1.一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机,包括驱动总成、镀膜机本体、连接杆、底座、观察窗、钨螺旋加热子、防护机构以及转动圆盘,其特征在于:所述底座上端面安装有镀膜机本体,所述镀膜机本体上端面安装有驱动总成,所述镀膜机本体右侧设置有连接杆,所述镀膜机本体前端面设置有观察窗,所述镀膜机本体内部设置有钨螺旋加热子,所述镀膜机本体内部下侧设置有转动圆盘,所述镀膜机本体内部设置有防护机构;

所述防护机构包括螺纹杆、防护罩筒、耐高温硅胶垫、固定槽、限位圈、螺母座以及滚珠螺母,所述转动圆盘上端面安装有耐高温硅胶垫,所述转动圆盘上端面开设有固定槽,所述固定槽内部安装有螺纹杆,所述螺纹杆环形侧面套设有螺母座,所述螺母座内部设置有滚珠螺母,所述螺母座内侧固定有防护罩筒,所述螺纹杆上端面安装有限位圈。

2.根据权利要求1所述的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机,其特征在于:所述限位圈下端面安装有插杆,所述螺纹杆上端面开设有插孔,且插杆与插孔相匹配,所述限位圈通过插杆和插孔与螺纹杆相连接。

3.根据权利要求1所述的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机,其特征在于:所述滚珠螺母与螺纹杆相匹配,所述螺母座通过滚珠螺母与螺纹杆相连接。

4.根据权利要求1所述的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机,其特征在于:所述防护罩筒设置为透明结构,所述防护罩筒上端面开设有活动口,且活动口与钨螺旋加热子相匹配,所述防护罩筒上端面安装有把手。

5.根据权利要求1所述的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机,其特征在于:所述螺纹杆设置有两个,且两个螺纹杆规格相同,两个螺纹杆对称设置在转动圆盘上端面。

6.根据权利要求1所述的一种可防止蒸镀材料溅射的镀膜机,其特征在于:所述防护罩筒直径与耐高温硅胶垫直径相同。

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