[实用新型]一种掏片式硅片传输机构有效

专利信息
申请号: 201920794911.4 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN209691778U 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 冯瑞<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 夹持组件 真空腔体 真空腔 抽气接头 传输组件 直线电机 盖板 力臂 连通 安装板固定 本实用新型 密封真空腔 盖板水平 硅片表面 硅片传输 一端设置 安装板 动子座 硅片 减小 片式 拾取 开口 概率
【说明书】:

实用新型公开了一种掏片式硅片传输机构,包括夹持组件和传输组件,传输组件为直线电机,夹持组件通过安装板连接于直线电机的动子座上,夹持组件包括若干吸力臂,吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头,真空腔体一端与安装板固定连接,真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔,盖板水平密封真空腔,盖板上设置有连通真空腔的气孔,抽气接头设置于真空腔体下方且连通真空腔,方便从其他机构拾取硅片,硅片表面未全部放置于夹持组件上,接触面积小,减小出现不良影响的概率,结构简单,运行速度快且平稳。

技术领域

本实用新型涉及硅片输送机构技术领域,具体涉及一种掏片式硅片输送机构。

背景技术

在光伏领域,太阳能光伏硅片被广泛应用,太阳能光伏硅片在生产过程中,需要经切方磨圆、酸洗、黏胶、切片、清洗脱胶和甩干等工序,其中有的工序需要通过机械手进行硅片的传输,有的工序需要通过硅片传输带进行传输,如:酸洗、清洗脱胶等。

目前,硅片的传送主要依靠分段式皮带传输,具体而言,将硅片放置于输送带上,且硅片表面的蓝膜直接与输送带接触,依靠蓝膜与输送带之间的摩擦力,从而硅片随输送带传输。在两端皮带连接处容易出现卡料现象,导致硅片堆积,影响硅片质量,皮带传输过程中,会出现皮带松弛,太阳能光伏硅片前进打滑卡滞等问题,都会使得硅片传输不稳定,容易出现偏移问题,无法进行纠偏,使得工序内的操作批量出现漏序的问题,且当输送带表面受到污染后,硅片表面的蓝膜容易被污染,甚至被划伤,然而晶体硅太阳电池的生产过程中对硅片的表面质量要求较高,一旦硅片表面的蓝膜被污染或者被划伤,会导致硅片表面的杂质容易引起堵网、断线或者硅片产生暗电流或表面脏污降为B级片等许多问题,严重的会导致硅片批量的报废、返工,费时费力,影响工作效率。

因此,本申请针对上述问题提供一种新的硅片传输装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种掏片式硅片传输机构,以解决现有技术中存在的硅片传输过程中硅片易卡料、被污染或者被划伤的技术问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种掏片式硅片传输机构,包括夹持组件和传输组件,所述传输组件为直线电机,所述夹持组件通过安装板连接于所述直线电机的动子座上,所述夹持组件包括若干吸力臂,所述吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头,所述真空腔体一端与所述安装板固定连接,所述真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔,所述盖板水平密封所述真空腔,所述盖板上设置有连通所述真空腔的气孔,所述抽气接头设置于所述真空腔体下方且连通所述真空腔,方便从其他机构拾取硅片,硅片表面未全部放置于夹持组件上,接触面积小,减小出现不良影响的概率,结构简单,运行速度快且平稳。

进一步的,所述盖板与所述真空腔体通过紧固件固定连接,所述真空腔内设置有若干凸台,所述紧固件一端穿过所述凸台,所述紧固件另一端内陷于所述盖板表面,所述盖板贴合于所述凸台,保证盖板水平密封真空腔。

进一步的,所述紧固件为螺栓,所述凸台与所述真空腔体一体成型,结构简单,方便安装。

进一步的,所述盖板上表面间隔设置有若干凹槽,进一步减少硅片与本机构的接触面积。

进一步的,所述盖板采用PEEK材料制成,硅片与PEEK材料之间不易产生痕迹。

进一步的,所述吸力臂设置有3个,保证硅片夹持的稳定。

进一步的,所述吸力臂沿所述直线电机长度方向设置,方便插入其他机构。

进一步的,所述安装板侧面设置有定位板,所述直线电机两端设置有与所述定位板配合的光电定位座,有利于对夹持机构进行定位。

本实用新型的一种掏片式硅片传输机构与现有技术相比的有益效果是,结构简单,操作方便,运行速度快,运行平稳,硅片与夹持机构接触面积小,减小出现污染或划伤等不良影响的概率。

附图说明

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