[实用新型]一种掏片式硅片传输机构有效
| 申请号： | 201920794911.4 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN209691778U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 冯瑞<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹持组件 真空腔体 真空腔 抽气接头 传输组件 直线电机 盖板 力臂 连通 安装板固定 本实用新型 密封真空腔 盖板水平 硅片表面 硅片传输 一端设置 安装板 动子座 硅片 减小 片式 拾取 开口 概率 | ||
1.一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，包括夹持组件和传输组件，所述传输组件为直线电机，所述夹持组件通过安装板连接于所述直线电机的动子座上，所述夹持组件包括若干吸力臂，所述吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头，所述真空腔体一端与所述安装板固定连接，所述真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔，所述盖板水平密封所述真空腔，所述盖板上设置有连通所述真空腔的气孔，所述抽气接头设置于所述真空腔体下方且连通所述真空腔。
2.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述盖板与所述真空腔体通过紧固件固定连接，所述真空腔内设置有若干凸台，所述紧固件一端穿过所述凸台，所述紧固件另一端内陷于所述盖板表面，所述盖板贴合于所述凸台。
3.如权利要求2所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述凸台与所述真空腔体一体成型。
4.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述盖板上表面间隔设置有若干凹槽。
5.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述盖板采用PEEK材料制成。
6.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述吸力臂设置有3个。
7.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述吸力臂沿所述直线电机长度方向设置。
8.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，所述安装板侧面设置有定位板，所述直线电机两端设置有与所述定位板配合的光电定位座。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗博特科智能科技股份有限公司，未经罗博特科智能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920794911.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
