[实用新型]微镜头

权利要求书

1.一种微镜头，其特征在于，包括：

芯片衬底；

设置在所述芯片上侧的感光器件和电路器件；

设置在所述感光器件和电路器件上侧的连接电路；

覆盖在所述连接电路上表面且具有第一预定厚度的沉积平坦化层；

设置在所述沉积平坦化层的上侧且具有第二预定厚度的沉积牺牲层；

位于所述沉积牺牲层中的刻蚀区，所述刻蚀区在沿着高度方向上与所述感光器件相对应，所述刻蚀区包括与所述感光器件的个数相匹配的预定图形，相邻两个所述预定图形之间间隔预定刻蚀间距；

设置在所述沉积牺牲层的上侧且具有第三预定厚度的沉积钝化层，所述沉积钝化层中与所述刻蚀区相对应的区域具有微透镜。

2.如权利要求1所述的微镜头，其特征在于，所述沉积牺牲层的材料与所述沉积平坦化层的材料不同，所述沉积平坦化层能作为所述沉积牺牲层在进行刻蚀时的截至层。

3.如权利要求1所述的微镜头，其特征在于，所述沉积牺牲层的材料与所述微透镜的材料相同。

4.如权利要求1所述的微镜头，其特征在于，所述沉积牺牲层的材料与所述沉积钝化层的材料相同。

5.如权利要求1所述的微镜头，其特征在于，所述预定刻蚀间距与所述微镜头的弧度正相关。

6.如权利要求1所述的微镜头，其特征在于，所述预定图形在所述沉积平坦化层上的投影形状包括下述中的任意一种：圆形、矩形。