[实用新型]一种适应不同尺寸硅片的片篮装置

权利要求书

1.一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：

包括第一硅片插槽件和第二硅片插槽件，所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件之间形成放置硅片的空间，所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件间隔设置并相对距离可调。

2.根据权利要求1所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：

所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件的两端之间均设有第一调节机构；

或所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件的底端之间设有第二调节机构。

3.根据权利要求2所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：所述第一调节机构包括中间板和连接杆组件，所述连接杆组件包括左上杆、左下杆、右上杆和右下杆，所述左上杆和所述左下杆的一端分别与所述第一硅片插槽件的一端连接，所述左上杆和所述左下杆的另一端分别与所述中间板连接，所述右上杆和所述右下杆的一端分别与所述第二硅片插槽件连接，所述右上杆和所述右下杆的另一端分别与所述中间板连接。

4.根据权利要求2所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：所述第二调节机构包括中间板和连接杆组件，所述连接杆组件包括左上杆、左下杆、右上杆和右下杆，所述左上杆和所述左下杆的一端分别与所述第一硅片插槽件的底部连接，所述左上杆和所述左下杆的另一端分别与所述中间板连接，所述右上杆和所述右下杆的一端分别与所述第二硅片插槽件的底部连接，所述右上杆和所述右下杆的另一端分别与所述中间板连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：所述第一硅片插槽件的一端和/或所述第二硅片插槽件的一端和/或所述中间板上设有若干沿竖直方向排列的螺孔，所述连接杆组件与所述第一硅片插槽件的一端、所述第二硅片插槽件的一端和所述中间板均通过螺钉连接。

6.根据权利要求3或4所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：所述第一硅片插槽件的底部和/或所述第二硅片插槽件的底部和/或所述中间板上设有若干螺孔，所述连接杆组件与所述第一硅片插槽件的底部、所述第二硅片插槽件的底部和所述中间板均通过螺钉连接。

7.根据权利要求1所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件的底部两端均设有滑槽，所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件通过滑槽相对距离可调，所述第一硅片插槽件和所述第二硅片插槽件的底部两端还设有卡合机构用于与所述滑槽固定。

8.根据权利要求7所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：还包括固定板，所述固定板一端与滑槽固定连接，所述固定板另一端与所述第一硅片插槽件的一端和所述第二硅片插槽件的一端活动连接。

9.根据权利要求8所述的一种适应不同尺寸硅片的片篮装置，其特征在于：所述第一硅片插槽件的一端和所述第二硅片插槽件的一端设有多个上下排列的螺孔，固定板与所述第一硅片插槽件的一端和所述第二硅片插槽件的一端通过螺钉连接。