[实用新型]晶片平整度测量仪

说明书

本实用新型属于蓝宝石加工技术领域，具体的，涉及一种晶片平整度测量仪，包括伸缩式量表、支撑板和支架，所述支架至少为三个，所述支架贯穿支撑板与支撑板可拆卸连接，支架与支撑板的下侧形成有晶片放置区；所述晶片放置区内形成有安装孔，所述伸缩式量表贯穿所述安装孔并与支撑板可拆卸连接。本实用新型提出了一种晶片平整度测量仪，受环境因素影响较小，测量更加准确快捷，节省劳动力，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于蓝宝石加工技术领域，具体的，涉及一种晶片平整度测量仪。

背景技术

在蓝宝石上游加工领域，控制晶片的表面平整度是一个非常重要的环节，目前，一般将晶片粘贴在光滑平整的陶瓷盘上，然后通过研磨、抛光等工序满足下游工序对平整度、粗糙度及表面划痕的要求。在控制平整度的过程中，因晶片粘贴在陶瓷盘上，通常是将陶瓷盘放在光滑平整的大理石上，然后在上方固定一个伸缩式量表进行测量，这种方式受环境影响，大理石表面掉落颗粒或长时间磨损导致测量不准确，同时陶瓷盘需要来回搬动，员工劳动力强度比较大。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷，本实用新型提出了一种晶片平整度测量仪，受环境因素影响较小，测量更加准确快捷，节省劳动力，提高生产效率。

为达到上述目的，本实用新型的晶片平整度测量仪包括伸缩式量表、支撑板和支架；

所述支架至少为三个，所述支架贯穿支撑板与支撑板可拆卸连接，支架与支撑板的下侧形成有晶片放置区；

所述晶片放置区内设置有安装孔，所述伸缩式量表贯穿所述安装孔并与支撑板可拆卸连接。

优选地，所述支撑板上设置有与所述安装孔垂直的固定孔，安装孔与固定孔相贯通，螺杆穿过固定孔将伸缩式量表固定于安装孔内。

优选地，所述支架上套接有支撑螺母和固定螺母；

所述支撑螺母设置于所述支撑板的下端，所述固定螺母设置于所述支撑板的上端。

优选地，所述伸缩式量表的表杆设置有螺纹，所述支撑螺母设置于所述支撑板的下端。

优选地，所述安装孔为多个。

优选地，所述支架的下端为圆球状。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型实施例公开的一种晶片平整度测量仪，受环境因素影响较小，测量更加准确快捷，节省劳动力，提高生产效率。

(2)伸缩式量表通过安装孔与支撑板可拆卸连接，可以满足测量不同尺寸的晶片的要求。

(3)支架的下端为圆球状，能够减小接触面积，减少待测量晶片的刮伤。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图；

图2为本实用新型支撑板的俯视图；

图3为本实用新型的另一种结构示意图。

附图标记：

1、伸缩式量表；2、支撑板；21、主体；22、第一连接块；23、第二连接块；3、第一支架；4、第二支架；5、第三支架；6、安装孔；7、固定孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，在本文中，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等仅用于表示相关部分之间的相对位置关系，而非限定这些相关部分的绝对位置。

实施例1