[实用新型]晶片平整度测量仪有效
| 申请号： | 201920740468.2 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN209764061U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 郑东;张强 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 37212 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑板 支架 平整度测量仪 本实用新型 可拆卸连接 安装孔 伸缩式 量表 种晶 环境因素影响 加工技术领域 晶片放置区 晶片放置 生产效率 蓝宝石 贯穿 测量 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶片平整度测量仪，包括伸缩式量表、支撑板和支架，其特征在于，所述支架至少为三个，所述支架贯穿支撑板与支撑板可拆卸连接，支架与支撑板的下侧形成有晶片放置区；
所述晶片放置区内设置有安装孔，所述伸缩式量表贯穿所述安装孔并与支撑板可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的晶片平整度测量仪，其特征在于，所述支撑板上设置有与所述安装孔垂直的固定孔，安装孔与固定孔相贯通，螺杆穿过固定孔将伸缩式量表可拆卸固定于安装孔内。
3.根据权利要求1所述的晶片平整度测量仪，其特征在于，所述支架上套接有支撑螺母和固定螺母；
所述支撑螺母设置于所述支撑板的下端，所述固定螺母设置于所述支撑板的上端。
4.根据权利要求1所述的晶片平整度测量仪，其特征在于，所述伸缩式量表的表杆设置有螺纹，所述表杆上套接有支撑螺母，所述支撑螺母设置于所述支撑板的下端。
5.根据权利要求1所述的晶片平整度测量仪，其特征在于，所述安装孔为多个。
6.根据权利要求1所述的晶片平整度测量仪，其特征在于，所述支架的下端为圆球状。
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