[实用新型]一种可调节的镀膜用滤片装置有效
申请号: | 201920713558.2 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN210085567U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 何祥云;吴强强;林汉伦;黄海 | 申请(专利权)人: | 伯恩光学(惠州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 516221 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调节 镀膜 用滤片 装置 | ||
1.一种可调节的镀膜用滤片装置,用于在溅射靶材和待镀膜基材之间对溅射镀膜过程中产生的离子进行过滤,其特征在于,所述滤片装置包括滤片本体,所述滤片本体设置成中空结构,两侧从上至下对应排列嵌接有滤板,所述滤板在靠近滤片边框的一侧设置有控制组件和滑动槽,所述控制组件推拉所述滤板的移动实现滤板伸缩长度的调整。
2.如权利要求1所述的一种可调节的镀膜用滤片装置,其特征在于,所述滑动槽上设置有刻度参数。
3.如权利要求1所述的一种可调节的镀膜用滤片装置,其特征在于,所述滤板在滤片本体上对称设置,且数量为多个。
4.如权利要求1所述的一种可调节的镀膜用滤片装置,其特征在于,所述控制组件为推拉结构。
5.如权利要求1所述的一种可调节的镀膜用滤片装置,其特征在于,所述滤片本体的材质包括金属,且形状为圆形、矩形、三角形或者扇形。
6.如权利要求1所述的一种可调节的镀膜用滤片装置,其特征在于,所述待镀膜基材包括玻璃。
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