[实用新型]用于籽晶生长的夹持装置有效
申请号: | 201920688870.0 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN210048878U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 陈翼;陈松松;于中兴 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/20 |
代理公司: | 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 孟洁 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 夹持部 圆锥段 籽晶 本实用新型 销轴孔 盲孔 圆柱段 连接稳固性 拆装方便 夹持装置 接头连接 制造成本 籽晶生长 石墨纸 有效地 籽晶棒 掉落 卡销 内开 销轴 磨损 连通 贯穿 制造 配合 | ||
本实用新型公开一种用于籽晶生长的夹持装置,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。本实用新型采用销轴的方式,将籽晶固定在夹持部,拆装方便,便于操作,且对石墨纸没有磨损,连接稳固性好,有效地防止籽晶掉落事故的发生。本实用新型结构简单,易于制造,且制造成本低。
技术领域
本实用新型涉及一种夹持装置,具体是一种用于籽晶生长的夹持装置,属于机械加工技术领域。
背景技术
籽晶夹具是蓝宝石长晶制造的过程中一种重要而且是必需的部件,籽晶棒从最开始长晶准备工序到最终的长晶结束退火阶段需要被很好地固定到籽晶夹具中,确保在制备过程中籽晶不会脱落掉入熔汤,最终顺利完成蓝宝石单晶的生长。
现有技术中,籽晶的一端固定在籽晶夹具上,籽晶通过夹具固定来完成晶体生长的引晶、放肩、等径、收尾和退火等工序。生长蓝宝石晶体的籽晶形状一般为方形,以捆绑方式固定于籽晶夹具上,通过提拉籽晶控制晶体生长,但是这种方式,由于受高温环境的影响,很容易使捆绑籽晶的绳子断裂,使籽晶脱落掉入坩埚,稳固性较差。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种用于籽晶生长的夹持装置,能够牢固的夹持籽晶头部,防止籽晶掉落,具有较高的稳固性。
本实用新型一种用于籽晶生长的夹持装置,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。
进一步,籽晶卡销一端安装有销帽。
优选地,圆锥段上的凹槽为圆形,销轴孔开设有两个,卡销的销帽为半圆形,两个卡销插入销轴孔后,两个销帽形成与凹槽相配合的圆形。
进一步,籽晶卡轴与籽晶之间设有石墨纸。
优选地,钼接头内部开设有通孔,通孔从上至下依次为倒圆锥段、第一圆柱段、第二圆柱段、第三圆柱段,倒圆锥段底部直径与第一圆柱段直径相同,第一圆柱段直径小于第二圆柱段,第二圆柱段直径小于第三圆柱段,第一圆柱段与第二圆柱段通过锥形段连通,锥形段上部直径与第一圆柱段相同,下部直径与第二圆柱段相同;夹持部的圆柱段上部安装有与第三圆柱段相配合的柱状段,柱状段和第三圆柱段上均开设有销钉孔,柱状段安装在第三圆柱段内,并通过销钉和销钉孔的配合与第三圆柱段连接在一起。
与现有技术相比,本实用新型采用销轴的方式,将籽晶固定在夹持部,拆装方便,便于操作,且对石墨纸没有磨损,连接稳固性好,有效地防止籽晶掉落事故的发生。本实用新型结构简单,易于制造,且制造成本低。
附图说明
图1是本实用新型爆炸结构示意图;
图2是本实用新型剖面图;
图3是本实用新型钼接头结构示意图;
图4是本实用新型夹持部结构示意图;
图5是本实用新型卡销和销帽放大结构示意图;
图6是本实用新型籽晶放大结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司,未经徐州晶睿半导体装备科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920688870.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:单晶炉籽晶软轴更换预紧装置
- 下一篇:硅铸锭热场结构