[实用新型]用于籽晶生长的夹持装置有效
申请号: | 201920688870.0 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN210048878U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 陈翼;陈松松;于中兴 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/20 |
代理公司: | 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 孟洁 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 夹持部 圆锥段 籽晶 本实用新型 销轴孔 盲孔 圆柱段 连接稳固性 拆装方便 夹持装置 接头连接 制造成本 籽晶生长 石墨纸 有效地 籽晶棒 掉落 卡销 内开 销轴 磨损 连通 贯穿 制造 配合 | ||
1.一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。
2.根据权利要求1所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,籽晶卡销一端安装有销帽,有效地增加了籽晶卡销的稳固性,更好地对籽晶进行固定。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,圆锥段上的凹槽为圆形,销轴孔开设有两个,卡销的销帽为半圆形,两个卡销插入销轴孔后,两个销帽形成与凹槽相配合的圆形,两个卡销能够更好地固定籽晶,有效地防止了籽晶从夹持部脱落掉入熔体。
4.根据权利要求3所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,籽晶卡轴与籽晶之间设有石墨纸。
5.根据权利要求4所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,钼接头内部开设有通孔,通孔从上至下依次为倒圆锥段、第一圆柱段、第二圆柱段、第三圆柱段,倒圆锥段底部直径与第一圆柱段直径相同,第一圆柱段直径小于第二圆柱段,第二圆柱段直径小于第三圆柱段,第一圆柱段与第二圆柱段通过锥形段连通,锥形段上部直径与第一圆柱段相同,下部直径与第二圆柱段相同;夹持部的圆柱段上部安装有与第三圆柱段相配合的柱状段,柱状段和第三圆柱段上均开设有销钉孔,柱状段安装在第三圆柱段内,并通过销钉和销钉孔的配合与第三圆柱段连接在一起。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司,未经徐州晶睿半导体装备科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920688870.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:单晶炉籽晶软轴更换预紧装置
- 下一篇:硅铸锭热场结构