[实用新型]用于籽晶生长的夹持装置有效

专利信息
申请号: 201920688870.0 申请日: 2019-05-15
公开(公告)号: CN210048878U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 陈翼;陈松松;于中兴 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32;C30B29/20
代理公司: 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 孟洁
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 夹持部 圆锥段 籽晶 本实用新型 销轴孔 盲孔 圆柱段 连接稳固性 拆装方便 夹持装置 接头连接 制造成本 籽晶生长 石墨纸 有效地 籽晶棒 掉落 卡销 内开 销轴 磨损 连通 贯穿 制造 配合
【权利要求书】:

1.一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。

2.根据权利要求1所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,籽晶卡销一端安装有销帽,有效地增加了籽晶卡销的稳固性,更好地对籽晶进行固定。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,圆锥段上的凹槽为圆形,销轴孔开设有两个,卡销的销帽为半圆形,两个卡销插入销轴孔后,两个销帽形成与凹槽相配合的圆形,两个卡销能够更好地固定籽晶,有效地防止了籽晶从夹持部脱落掉入熔体。

4.根据权利要求3所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,籽晶卡轴与籽晶之间设有石墨纸。

5.根据权利要求4所述的一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,钼接头内部开设有通孔,通孔从上至下依次为倒圆锥段、第一圆柱段、第二圆柱段、第三圆柱段,倒圆锥段底部直径与第一圆柱段直径相同,第一圆柱段直径小于第二圆柱段,第二圆柱段直径小于第三圆柱段,第一圆柱段与第二圆柱段通过锥形段连通,锥形段上部直径与第一圆柱段相同,下部直径与第二圆柱段相同;夹持部的圆柱段上部安装有与第三圆柱段相配合的柱状段,柱状段和第三圆柱段上均开设有销钉孔,柱状段安装在第三圆柱段内,并通过销钉和销钉孔的配合与第三圆柱段连接在一起。

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