[实用新型]双加热装置有效
| 申请号： | 201920687186.0 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN209624976U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 | 申请（专利权）人： | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 | 代理人： | 苗建 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热 上加热盘 支撑壳体 防护罩 本实用新型 双加热装置 下加热盘 硅片 上加热器 下加热器 加热装置 双层加热 均匀性 支撑壳 地线 铰接 刻蚀 吸附 压盖 体内 | ||
1.一种双加热装置，其特征是：包括加热支撑壳体、设置于所述加热支撑壳体上的下加热盘（2）以及与所述加热支撑壳体铰接的防护罩（7），在所述防护罩（7）内设置能吸附硅片（13）的上加热盘（9）以及能对上加热盘（9）上硅片（13）加热的上加热器（8）；在加热支撑壳体内设置下加热器（18），防护罩（7）压盖在加热支撑壳体上时，上加热盘（9）能与下加热盘（2）正对应，通过上加热器（8）、下加热器（18）能对上加热盘（9）与下加热盘（2）之间的硅片（13）的两面同时进行加热。
2.根据权利要求1所述的双加热装置，其特征是：在防护罩（7）内还设置上隔热板（10），上加热器（8）、上加热盘（9）固定安装于上隔热板（10）上，上隔热板（10）通过上隔热板支撑柱（11）安装于防护罩（7）内，上加热器（8）位于上加热盘（9）与上隔热板（10）之间。
3.根据权利要求1或2所述的双加热装置，其特征是：在所述防护罩（7）上设置若干罩体散热孔（19），在上加热盘（9）上设置真空吸附孔（12）。
4.根据权利要求1所述的双加热装置，其特征是：所述防护罩（7）通过铰链（6）铰接在加热支撑壳体上，在防护罩（7）的背面还设置用于调节铰链（6）打开角度的调节块（15）。
5.根据权利要求1所述的双加热装置，其特征是：在所述加热支撑壳体内设置用于与下加热器（18）适配连接的下隔热板（17），在加热支撑壳体内设置用于支撑下隔热板（17）的隔热板支撑柱（16）。
6.根据权利要求1所述的双加热装置，其特征是：在所述加热支撑壳体的底端设置若干均匀分布的可调底座（4），在加热支撑壳体上还设置触摸屏（5）。
7.根据权利要求1所述的双加热装置，其特征是：在防护罩（7）上还设置防护罩拉手（14）。
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